[发明专利]一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法在审
申请号: | 201710180452.6 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN107014572A | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 丁海;於俊杰;张仁全;罗恕 | 申请(专利权)人: | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人: | 张耀文 |
地址: | 212200 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 炉热偶仓 泄漏 检测 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法,其特征在于:在多晶炉热偶仓安装三通,并安装真空压力监测装置,观察真空压力监测装置监测到的压力值,当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时,真空计压力值会有明显变化,从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。
2.根据权利要求1所述的多晶炉热偶仓泄漏检测方法,其特征在于:所述真空压力监测装置为机械式真空压力表,或者带电子数码显示的和电信号输出的真空压力传感器。
3.根据权利要求1所述的多晶炉热偶仓泄漏检测方法,其特征在于:所述三通为KF16不锈钢三通。
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