[发明专利]一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法

说明书

技术领域

本发明属于多晶硅制备技术领域，特别涉及一种多晶铸锭炉热电偶仓气压检测方法。

背景技术

部分厂家生产的多晶铸锭炉的热电偶仓无漏气检漏功能，如TC2保护管损坏发生漏气不能及时发现。而TC2仓漏气容易导致高价值的热电偶损坏，甚至导致硅锭氧化报废。

发明内容

本发明的目的是提供一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法，以降低铸锭运营成本，减少备件损坏，提高铸锭成品率。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种多晶炉热偶仓泄漏检测方法，其特征在于：在多晶炉热偶仓安装三通，并安装真空压力监测装置，观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。

所述真空压力监测装置为机械式真空压力表，或者带电子数码显示的和电信号输出的真空压力传感器。

所述三通为KF16不锈钢三通。

有益效果：本发明的方法，通过观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本发明做更进一步的解释。

在多晶炉热偶仓安装不锈钢三通，并安装真空压力监测装置，观察真空压力监测装置监测到的压力值，当热偶仓因氧化铝保护管发生泄漏时，真空计压力值会有明显变化，从而可清楚的判断出热电偶保护管漏气。

其中不锈钢三通的材质为KF16。

也可采用带电子数码显示的和电信号输出的真空压力传感器来代替机械式真空压力表，但成本更高。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。