[发明专利]靶坯的加工方法有效
| 申请号： | 201710183223.X | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN108620815B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;徐礼升 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射面 车削加工 焊接面 中心孔 刀具 中心处 加工 刀尖 侧面 凹陷 崩刃 弧面 心孔 破损 指向 | ||
1.一种靶坯的加工方法，其特征在于，包括：
提供材料为钛的初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、与所述第一焊接面相对的溅射面、以及位于所述第一焊接面与所述溅射面之间的侧面；
对所述溅射面进行第一车削加工，在所述溅射面中心处形成中心孔；
沿所述中心孔指向所述侧面的方向，对所述溅射面进行第二车削加工，使所述溅射面为向所述第一焊接面凹陷的弧面。
2.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述初始靶坯的形状为圆柱体；
在所述第二车削加工后，所述溅射面为向所述焊接面凹陷的圆弧面。
3.如权利要求2所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在所述第二车削加工后，所述溅射面的弧半径是2301毫米至2303毫米。
4.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在所述第二车削加工后，所述溅射面的弧面深度为4.64毫米至4.84毫米。
5.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用10毫米钻头对所述溅射面进行第一车削加工；
所述第一车削加工的参数包括：所述初始靶坯的转速为150转/分钟至200转/分钟，所述第一车削加工的进给量为0.015毫米/转至0.065毫米/转。
6.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述中心孔的深度为4毫米至4.5毫米。
7.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，对所述溅射面进行第二车削加工的步骤包括：对所述溅射面进行粗车加工；在所述粗车加工后，对所述溅射面进行精车加工。
8.如权利要求7所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用80度内圆开粗刀，对所述溅射面进行粗车加工；
所述粗车加工的参数包括：切削速度为15毫米/分钟至25毫米/每分钟，吃刀量为0.45毫米至0.55毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟。
9.如权利要求7所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用80度内圆开粗刀，对所述溅射面进行精车加工；
所述精车加工的参数包括：切削速度为15毫米/分钟至25毫米/每分钟，吃刀量为0.05毫米至0.15毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟。
10.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，对所述溅射面进行第一车削加工之前，所述加工方法还包括：提供背板，所述背板具有第二焊接面；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将所述初始靶坯焊接于所述背板上；
对所述溅射面进行第二车削加工后，所述初始靶坯作为靶坯，所述靶坯与所述背板构成靶材组件。
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