[发明专利]一种硅片翻转冲洗装置

权利要求书

1.一种硅片翻转冲洗装置，包括冲洗箱(1）、冲洗箱门(2）、电动机箱(3）、控制面板(4）、冲洗箱门锁扣(5）、电动机(6）、传动带(7）、支撑架(8）、集水箱(9）、出水口(10）、二号转轴(11）、清洗液箱(12）、抽水管(13）、喷水管(14）、一号转轴(15）、喷气盒(16）、热风机(17）、喷嘴(18）和水泵(19），其特征在于：所述冲洗箱(1）上设置有一个冲洗箱门(2），所述冲洗箱(1）的一侧设置有一个电动机箱(3），所述电动机箱(3）的外侧安装有一个控制面板(4），所述冲洗箱门(2）上设置有一个冲洗箱门锁扣(5），所述电动机箱(3）内安装有一个电动机(6），所述电动机(6）的一侧设置有一根二号转轴(11），所述电动机箱(3）的底部安装有两根支撑架(8），所述冲洗箱(1）的底部设置有一个出水口(10），所述出水口(10）的底部设置有一个集水箱(9），所述冲洗箱(1）的另一侧设置有一个清洗液箱(12），所述清洗液箱(12）的底部安装有两根支撑架(8），所述抽水管(13）的一侧嵌入清洗液箱(12）内部，所述抽水管(13）的另一侧与水泵(19）连接，所述喷水管(14）的一侧与水泵(19）连接，所述喷水管(14）的另一侧嵌入到冲洗箱(1）内部，且喷水管(14）的另一侧管壁上设置有若干个喷嘴(18），所述冲洗箱(1）内部还安装有一个一号转轴(15），所述一号转轴(15）和二号转轴(11）通过传动带(7）传动连接，所述冲洗箱(1）的顶部安装有一个热风机(17），所述热风机(17）通过管道与冲洗箱(1）顶部内侧的喷气盒(16）连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述冲洗箱(1）的底部为一个漏斗状结构。

3.根据权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述清洗液箱(12）上设置有一个观察窗。

4.根据权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述一号转轴(15）和二号转轴(11）上设置有夹子。

5.根据权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述喷气盒(16）的底部设置有若干个透气小孔。

6.根据权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述集水箱(9）为可移动装置，底部安装有四个万向轮。