[发明专利]基于扫描探针的光路减震装置及方法

权利要求书

1.一种基于扫描探针的光路减震的方法，其特征在于，所述方法采用一种基于扫描探针的光路减震装置，所述装置包括：

一控制器；

一第一扫描振镜及一第二扫描振镜，所述第一扫描振镜设置在光源之后，用于改变光源发出的光的光路，所述第二扫描振镜设置在所述第一扫描振镜与样品台之间，用于改变第一扫描振镜反射的光的光路，并将光反射向样品台，所述第一扫描振镜及第二扫描振镜分别与控制器电连接，所述控制器控制第一扫描振镜及第二扫描振镜的转动；

一第一采样镜及一第二采样镜，所述第一采样镜设置在第一扫描振镜及第二扫描振镜之间的光路上，用于采集该光路的光信号，所述第二采样镜设置在第二扫描振镜与样品台之间的光路上，用于采集该光路的光信号；

一第一四象限光探测器及一第二四象限光探测器，所述第一四象限光探测器相对于第一采样镜设置，用于检测来自第一采样镜的光，并将该光在第一四象限光探测器上的位置信息传递给控制器，所述第二四象限光探测器相对于第二采样镜设置，用于检测来自第二采样镜的光，并将该光在第二四象限光探测器上的位置信息传递给控制器；

所述方法包括如下步骤：

第一扫描振镜反射光源发射的光，并将所述光反射向第二扫描振镜，第二扫描振镜接收来自第一扫描振镜反射的光，并改变光路，使光射向样品台；

设置在第一扫描振镜与第二扫描振镜之间的光路上的第一采样镜采集该光路的光，并将光反射向第一四象限光探测器；

所述第一四象限光探测器检测该光在该第一四象限光探测器上的位置，并将该位置信息反馈给控制器；

若所述光在该第一四象限光探测器上的位置不在所述第一四象限光探测器的中心，则所述控制器调节所述第一扫描振镜，改变光路，使光在该第一四象限光探测器的中心；

设置在第二扫描振镜与样品台之间的光路上的第二采样镜采集该光路的光，并将该光反射向第二四象限光探测器；

所述第二四象限光探测器检测该光在该第二四象限光探测器上的位置，并将该位置信息反馈给控制器；

若所述在该第二四象限光探测器上的位置不在所述第二四象限光探测器的中心，则所述控制器调节所述第二扫描振镜，改变光路，使光在该第二四象限光探测器的中心。

2.根据权利要求1所述的基于扫描探针的光路减震的方法，其特征在于，所述第一扫描振镜与光源在同一水平面上放置，所述第一扫描振镜将所述光源发射的光朝向竖直方向反射，所述第一扫描振镜与所述第二扫描振镜在同一竖直面上放置，所述第二扫描振镜将接收的光朝向水平反向反射。

3.根据权利要求2所述的基于扫描探针的光路减震的方法，其特征在于，还包括一反射镜，所述反射镜设置在第二扫描振镜与样品台之间，将所述第二扫描振镜反射的光反射向样品台。

4.根据权利要求3所述的基于扫描探针的光路减震的方法，其特征在于，所述反射镜与所述第二扫描振镜在同一水平面上放置，并与所述样品台在同一竖直面上放置，所述反射镜将所述第二扫描振镜反射的光向竖直方向反射。

5.根据权利要求3所述的基于扫描探针的光路减震的方法，其特征在于，还包括：若光在该第一四象限光探测器的中心，则控制器不调节第一扫描振镜；和/或若光在该第二四象限光探测器的中心，则控制器不调节第二扫描振镜。