[发明专利]基于扫描探针的光路减震装置及方法

说明书

本发明提供一种基于扫描探针的光路减震装置及方法，用于减少光路振动，所述装置包括控制器、第一扫描振镜及一第二扫描振镜、第一采样镜及第二采样镜、第一四象限光探测器及第二四象限光探测器。本发明的优点在于，通过四象限光探测器感应光路中光信号，并将其位置信息进行实时反馈，通过扫描振镜调节光源的光路，使得样品上的光斑位置相对样品保持稳定不变，实现控制光斑稳定不漂移。本发明方法在减少光路振动的基础上，提高了扫描探针显微镜在材料表面光电测量上的稳定性和可靠性，提升了扫描探针显微镜在微区光电响应表征的准确度。

技术领域

本发明涉及光电测试领域，尤其涉及一种基于扫描探针的光路减震装置及方法。

背景技术

在材料的微观光电表征分析中，通常需要涉及到辅助的光路系统。在常规的激光辅助光电测试系统中，特别是单激光光源多设备联用的情况下，一般测试系统和光学系统是分立的。测量过程中，首先对样品进行普通的表面电学表征。之后，对样品的光电响应进行表征的时候，加入激光，激光光源是从另一独立的设备中发射过来，并通过反射镜、准直镜等的调节最终将激光光斑投射到指定的位置；最后通过扫描探针设备对样品进行测试，实现定点原位光电响应表征。

但是，由于扫描探针设备和激光光源设备是两套独立的系统，并且由于不同设备对振动噪声的屏蔽程度要求不同，因此，当设备工作时，光源和扫描探针设备总是会存在一定的相对运动，如果激光在到达扫描探针指定测量的区域之前需要传播的距离过长，那么样品上的光斑就会出现由于光路的放大导致的光斑晃动漂移，使得光斑不能准确的聚焦在指定的位置，影响实验测量结果的准确性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种基于扫描探针的光路减震装置及方法，其能够控制光斑稳定不漂移。

为了解决上述问题，本发明提供了一种基于扫描探针的光路减震装置，包括：一控制器；一第一扫描振镜及一第二扫描振镜，所述第一扫描振镜设置在光源之后，用于改变光源发出的光的光路，所述第二扫描振镜设置在所述第一扫描振镜与样品台之间，用于改变第一扫描振镜反射的光的光路，并将光反射向样品台，所述第一扫描振镜及第二扫描振镜分别与控制器电连接，所述控制器控制第一扫描振镜及第二扫描振镜的转动；一第一采样镜及一第二采样镜，所述第一采样镜设置在第一扫描振镜及第二扫描振镜之间的光路上，用于采集该光路的光信号，所述第二采样镜设置在第二扫描振镜与样品台之间的光路上，用于采集该光路的光信号；一第一四象限光探测器及一第二四象限光探测器，所述第一四象限光探测器相对于第一采样镜设置，用于检测来自第一采样镜的光，并将该光在第一四象限光探测器上的位置信息传递给控制器，所述第二四象限光探测器相对于第二采样镜设置，用于检测来自第二采样镜的光，并将该光在第二四象限光探测器上的位置信息传递给控制器。

进一步，所述第一扫描振镜与光源在同一水平面上放置，所述第一扫描振镜与所述第二扫描振镜在同一竖直面上放置。

进一步，还包括一反射镜，所述反射镜设置在第二扫描振镜与样品台之间，将所述第二扫描振镜反射的光反射向样品台。

进一步，所述反射镜与所述第二扫描振镜在同一水平面上放置，并与所述样品台在同一竖直面上放置。