[发明专利]机械手单元及移载方法

权利要求书

1.一种机械手单元，其是具有供半导体晶片载置的U字形的载置部的机械臂的机械手单元，其特征在于，

在所述载置部的一端侧具备以第一支承高度支承所述半导体晶片的第一支承部及以第二支承高度支承所述半导体晶片的第二支承部，

在所述载置部的另一端侧具备以所述第一支承高度支承所述半导体晶片的第三支承部及以所述第二支承高度支承所述半导体晶片的第四支承部，

在所述另一端侧还具备以所述第一支承高度保持所述半导体晶片的第一保持部和以所述第二支承高度保持所述半导体晶片的第二保持部，

所述机械手单元还具备第一驱动单元，所述第一驱动单元使所述第三支承部及所述第四支承部的至少一方相对于所述第一支承部及所述第二支承部进退地移动。

2.如权利要求1所述的机械手单元，其特征在于，

所述第一支承部及所述第二支承部分别具备支承所述半导体晶片的下表面的载置面和与所述半导体晶片的端缘抵接的抵接面，

所述第三支承部及所述第四支承部分别具备支承半导体晶片的下表面的倾斜的载置面。

3.如权利要求1所述的机械手单元，其特征在于，

还具备第二驱动单元，所述第二驱动单元使所述第一保持部及所述第二保持部相对于所述第一支承部及所述第二支承部进退地移动。

4.如权利要求2所述的机械手单元，其特征在于，

所述抵接面分别是与所述第一支承部的所述载置面或所述第二支承部的所述载置面的所述一端侧连续且朝向所述另一端侧向上方倾斜的倾斜面。

5.一种机械手单元，其是对半导体晶片进行移载的机械臂的机械手单元，其特征在于，

所述机械手单元具备：

板状的U字形的机械手构件；

第一支承构件，所述第一支承构件设置于所述机械手构件的前端侧；

第二支承构件，所述第二支承构件设置于所述机械手构件的根部侧；

第三支承构件，所述第三支承构件设置于所述机械手构件的所述根部侧；以及

第一驱动单元，

所述第一支承构件具备从所述机械手构件的表面以第一支承高度支承半导体晶片的第一支承部及从所述表面以第二支承高度支承半导体晶片的第二支承部，

所述第二支承构件具备从所述表面以所述第一支承高度支承半导体晶片的第三支承部，

所述第三支承构件具备从所述表面以所述第二支承高度支承半导体晶片的第四支承部，

所述机械手单元还具备设置于所述根部侧的保持构件，

所述保持构件还具备从所述表面以所述第一支承高度保持所述半导体晶片的第一保持部及从所述表面以所述第二支承高度保持所述半导体晶片的第二保持部，

所述第一驱动单元使所述第二支承构件和所述第三支承构件的至少一方相对于所述第一支承构件进退地移动。

6.如权利要求5所述的机械手单元，其特征在于，

还具备第二驱动单元，所述第二驱动单元使所述保持构件相对于所述第一支承构件进退地移动。