[发明专利]一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构有效
申请号: | 201710201134.3 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN106929911B | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 曹建伟;张俊;欧阳鹏根;沈兴潮;宋建军 | 申请(专利权)人: | 内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 010070 内蒙古自治区呼*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 蓝宝石 晶体生长 结构 | ||
1.一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构,能对籽晶杆进行清洗,其特征在于,所述用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构包括安装架、卡紧套、导向盘、转动盘、波纹管;
所述安装架是底面是正方形的直四棱柱结构,且安装架的底面中部开有通孔,卡紧套穿设在安装架的通孔中;所述卡紧套为管型结构的卡紧套,卡紧套的中部开有圆形的中间孔,中间孔内相对开有两个缺口,籽晶杆从卡紧套的中间孔穿过,且当卡紧套旋转时,籽晶杆能够卡在两个缺口里实现卡紧;安装架的侧面分别开有两个与通孔连通的安装孔,一个安装孔上装设有观察玻璃,用于通过观察玻璃观察卡紧套的状态,另外一个安装孔用于穿入转动盘的轴;
所述导向盘为圆环结构的导向盘,转动盘安装在导向盘上,且转动盘能在导向盘上做旋转运动;转动盘的轴依次穿过导向盘的内圆孔、安装架的一个安装孔与卡紧套连接,能通过带动卡紧套转动,实现卡紧套对籽晶杆进行卡紧或者脱开;且在转动盘的轴与导向盘的内圆孔之间安装有密封圈,用于实现转动盘与导向盘的密封连接;
所述波纹管安装在导向盘与安装架之间,所述转动盘的轴装设在波纹管中;且在波纹管与导向盘连接处、波纹管与安装架的连接处,分别设置有密封圈,用于保证籽晶杆处在密封真空的环境;
导向盘的外圆周上设有两个耳朵结构,每个耳朵结构的中心位置开有一个通孔,且两个耳朵结构的通孔中心点与导向盘的外圆中心点处于同一条水平线上;耳朵装置利用耳朵结构中心的通孔与导向盘连接;
所述耳朵装置包括直线轴承、导向杆、左侧固定板、右侧固定板、调节螺钉、手柄;所述导向杆设有两根,且两根导向杆分别固定在左侧固定板、右侧固定板之间,所述直线轴承设有两个,分别安装在对应的导向杆上,直线轴承能在导向杆上做直线运动;两个直线轴承分别安装在导向盘耳朵结构的对应通孔中,使直线轴承能带着导向盘一起运动;所述手柄的一端穿过右侧固定板连接在导向盘上,手柄能推动导向盘沿着导向杆做直线运动;所述调节螺钉有四个,分别安装在左侧固定板、右侧固定板上,即左侧固定板、右侧固定板上各安装有两个调节螺钉,通过调节调节螺钉在左侧固定板、右侧固定板上的拧入螺钉长度,并保证同一块固定板上两个调节螺钉的拧入螺钉长度一致,当控制导向盘沿导向杆直线运动时,碰到安装在左侧固定板或者右侧固定板上的调节螺钉即停下,进而实现对洗晶时籽晶杆摆动幅度的控制。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构,其特征在于,所述手柄的另一端能用于手动操作洗晶,或者通过在手柄的另一端安装自动设备,实现自动操作洗晶。
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