[发明专利]一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构有效

专利信息
申请号: 201710201134.3 申请日: 2017-03-30
公开(公告)号: CN106929911B 公开(公告)日: 2019-05-24
发明(设计)人: 曹建伟;张俊;欧阳鹏根;沈兴潮;宋建军 申请(专利权)人: 内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 010070 内蒙古自治区呼*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 蓝宝石 晶体生长 结构
【说明书】:

发明涉及蓝宝石晶体生长炉辅助设备,旨在提供一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构。该种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构包括安装架、卡紧套、导向盘、转动盘、波纹管,能对籽晶杆进行清洗。本发明可实时控制洗晶幅度和频率,洗晶效果好;本发明的操作手柄可采用电机等自动设备带动,实现自动洗晶,减少人工操作,降低人工失误造成籽晶断裂等风险;本发明结构简单,成本低,易于安装,操作方便。

技术领域

本发明是关于蓝宝石晶体生长炉辅助设备领域,特别涉及一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构。

背景技术

目前国际上主流的蓝宝石晶体生长工艺是泡生法、提拉法、导模法以及热交换法,而泡生法工艺生长的蓝宝石晶体约占目前市场的70%。低成本、高质量地生长大尺寸蓝宝石晶体已成为当前面临的迫切任务。泡生法是将一根受冷的籽晶与熔体接触,如果界面的温度低于凝固点,则籽晶开始生长。为了使晶体不断长大,就需要逐渐降低熔体的温度,同时下放并旋转晶体以便改善熔体的温度分布,也可以缓慢的或者分阶段的上体晶体,以扩大散热面。

在蓝宝石晶体生长过程中,由于化料时,会出现大量的氧化物,该氧化物在凝结在籽晶表面,如果不去除,会直接影响到晶体的生长排列,从而直接影响到整个晶体的质量。故而,在引晶过程中,往往需要技术人员将籽晶插入溶液内,并且进行迅速的来回搅拌,洗去凝结在籽晶表面的氧化物。

目前蓝宝石籽晶的洗晶的方法有两种,一种是通过转动籽晶杆带动籽晶旋转,另一种是通过抓住籽晶杆外侧的焊接波纹管,通过波纹管的变形来重击里面的籽晶杆。但是,转动籽晶杆往往会因为转动的速度不够快和籽晶与溶液的摩擦不够大,无法完全洗干净表面的氧化物;通过波纹管的重击,往往会因为无法完全掌握好力度,使得重击力度过大,导致籽晶断裂,同时也直接影响到了焊接波纹管的使用寿命。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种结构设计简单、成本低廉,能用于去除自动引晶前籽晶表面氧化物的洗晶结构。为解决上述技术问题,本发明的解决方案是:

提供一种用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构,能对籽晶杆进行清洗,所述用于蓝宝石晶体生长的洗晶结构包括安装架、卡紧套、导向盘、转动盘、波纹管;

所述安装架是底面是正方形的直四棱柱结构,且安装架的底面中部开有通孔,卡紧套穿设在安装架的通孔中;所述卡紧套为管型结构的卡紧套,卡紧套的中部开有圆形的中间孔,中间孔内相对开有两个缺口,籽晶杆从卡紧套的中间孔穿过,且当卡紧套旋转时,籽晶杆能够卡在两个缺口里实现卡紧;安装架的侧面分别开有两个与通孔连通的安装孔,一个安装孔上装设有观察玻璃,用于通过观察玻璃观察卡紧套的状态,另外一个安装孔用于穿入转动盘的轴;

所述导向盘为圆环结构的导向盘,转动盘安装在导向盘上,且转动盘能在导向盘上做旋转运动;转动盘的轴依次穿过导向盘的内圆孔、安装架的一个安装孔与卡紧套连接,能通过带动卡紧套转动,实现卡紧套对籽晶杆进行卡紧或者脱开;且在转动盘的轴与导向盘的内圆孔之间安装有密封圈,用于实现转动盘与导向盘的密封连接;

所述波纹管安装在导向盘与安装架之间,所述转动盘的轴装设在波纹管中;且在波纹管与导向盘连接处、波纹管与安装架的连接处,分别设置有密封圈,用于保证籽晶杆处在密封真空的环境;

导向盘的外圆周上设有两个耳朵结构,每个耳朵结构的中心位置开有一个(直径为12mm的)通孔,且两个耳朵结构的通孔中心点与导向盘的外圆中心点处于同一条水平线上;耳朵装置利用耳朵结构中心的通孔与导向盘连接;

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