[发明专利]一种电极烧蚀颗粒分布测量方法

权利要求书

1.一种电极烧蚀颗粒分布测量方法，其特征在于：所述的测量方法包括以下步骤：

a.获得电极烧蚀颗粒图像，并命名为待测表面图像；

b.从待测表面图像中提取高度数据，对超出表面高度范围的点进行标记，确定待测表面边界；

c.根据待测表面边界的几何形状，生成颗粒统计网格，网格单元数为N；

d.计算颗粒统计网格单元的表面平均高度hm₁、hm₂……hm_N和表面最高高度hmax₁、hmax₂……hmax_N；

e.计算颗粒统计网格单元的高度差Δh₁=hmax₁-hm₁、Δh₂=hmax₂-hm₂……Δh_N=hmax_N-hm_N，分别计算Δh₁、Δh₂……Δh_N与待测表面标准高度差h_ref的差值，若差值大于0，则存在颗粒；

f.对存在颗粒的颗粒统计网格单元进行分析，获得电极烧蚀颗粒的空间位置分布和高度尺寸分布结果。

2.根据权利要求1所述的电极烧蚀颗粒分布测量方法，其特征在于：所述的步骤c中的颗粒统计网格为极坐标网格。