[发明专利]一种电极烧蚀颗粒分布测量方法在审

专利信息
申请号: 201710204381.9 申请日: 2017-03-31
公开(公告)号: CN106706481A 公开(公告)日: 2017-05-24
发明(设计)人: 钟伟;刘云龙 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
主分类号: G01N15/00 分类号: G01N15/00;G01N15/14
代理公司: 中国工程物理研究院专利中心51210 代理人: 翟长明,韩志英
地址: 621999 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 电极 颗粒 分布 测量方法
【说明书】:

技术领域

发明属于图像识别技术领域,具体涉及一种电极烧蚀颗粒分布测量方法。

背景技术

气体火花开关是脉冲功率装置的关键部件之一,在核聚变、粒子加速器、电真空器件等领域具有重要应用价值。气体火花开关在高气压、大电流条件下工作时在电极表面会出现较为的烧蚀现象,而烧蚀产生的溅射颗粒是影响开关工作性能的关键因素之一。由于电极烧蚀产生的溅射颗粒密布在电极表面,且尺寸大多在微米量级,难以分辨。目前,大多利用扫描电子显微镜、激光共聚焦等光学成像分析技术,只能获得对溅射颗粒的定性微观描述,而对电极表面颗粒的数量、尺寸、空间分布缺乏量化分析手段。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种电极烧蚀颗粒分布测量方法。

本发明的电极烧蚀颗粒分布测量方法,其特点是,所述的测量方法包括以下步骤:

a.获得电极烧蚀颗粒图像,并命名为待测表面图像;

b.从待测表面图像中提取高度数据,对超出表面高度范围的点进行标记,确定待测表面边界;

c.根据待测表面边界的几何形状,生成颗粒统计网格,网格单元数为N;

d.计算颗粒统计网格单元的表面平均高度hm1、hm2……hmN和表面最高高度hmax1、hmax2……hmaxN

e.计算颗粒统计网格单元的高度差Δh1=hmax1-hm1、Δh2=hmax2-hm2……ΔhN=hmaxN-hmN,分别计算Δh1、Δh2……ΔhN与待测表面标准高度差href的差值,若差值大于0,则存在颗粒;

f.对存在颗粒的颗粒统计网格单元进行分析,获得电极烧蚀颗粒的空间位置分布和高度尺寸分布结果。

所述的步骤c中的颗粒统计网格为极坐标网格。

本发明电极烧蚀颗粒分布测量方法基本原理为:通过提取电极烧蚀颗粒图像中高度数据,在待测表面生成颗粒统计网格,通过计算颗粒统计网格单元的表面平均高度和表面最高高度,并将其高度差与待测表面标准高度差进行比较,若差值大于0,则网格单元内存在颗粒。

本发明的电极烧蚀颗粒分布测量方法通过计算整个待测表面高度数据,可以获得电极烧蚀颗粒空间位置分布和高度尺寸分布结果,可以为气体火花开关优化设计提供量化的分析数据,具有重要的工程应用价值。

附图说明

图1为本发明的电极烧蚀颗粒分布测量方法获得的放电1000次后的待测表面图像;

图2为本发明的电极烧蚀颗粒分布测量方法获得的未放电的待测表面图像;

图3为实施例1获得的待测表面电极烧蚀颗粒的空间位置分布。

具体实施方式

下面结合附图和实施例详细说明本发明。

本发明的电极烧蚀颗粒分布测量方法包括以下步骤:

a.获得电极烧蚀颗粒图像,并命名为待测表面图像;

b.从待测表面图像中提取高度数据,对超出表面高度范围的点进行标记,确定待测表面边界;

c.根据待测表面边界的几何形状,生成颗粒统计网格,网格单元数为N;

d.计算颗粒统计网格单元的表面平均高度hm1、hm2……hmN和表面最高高度hmax1、hmax2……hmaxN

e.计算颗粒统计网格单元的高度差Δh1=hmax1-hm1、Δh2=hmax2-hm2……ΔhN=hmaxN-hmN,分别计算Δh1、Δh2……ΔhN与待测表面标准高度差href的差值,若差值大于0,则存在颗粒;

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