[发明专利]半导体工艺控制系统和半导体处理控制系统有效
| 申请号： | 201710208271.X | 申请日： | 2013-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN107515830B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·维恩·斯肖尔;马克·罗杰·科温顺;苏雷什·库马拉斯瓦米;阿米塔巴·普里 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G06F13/10 | 分类号： | G06F13/10 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺 控制系统 处理 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体处理控制系统电源，包含：
交流适配器，所述交流适配器经配置以与交流电源耦合，且将交流功率转换成直流功率；
处理工具适配器，所述处理工具适配器经配置以向半导体处理工具提供功率；
直流控制系统适配器，所述直流控制系统适配器与所述交流适配器电性耦合，且经配置以向控制系统提供功率；
直流风扇适配器，所述直流风扇适配器与所述交流适配器电性耦合，且经配置以向风扇模块提供功率；以及
电源控制模块，所述电源控制模块经配置以监控功率消耗。
2.如权利要求1所述的半导体处理控制系统电源，所述半导体处理控制系统电源进一步包含直流电池适配器，所述直流电池适配器与所述交流适配器电性耦合，且经配置以向电池提供功率。
3.如权利要求2所述的半导体处理控制系统电源，其中所述电源控制模块控制所述电池的充电。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710208271.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种实现自动翻页的方法及移动终端
- 下一篇：多活动平台和接口
