[发明专利]含硅酮骨架高分子化合物、光固化性树脂组合物、光固化性干膜、积层体、及图案形成方法

权利要求书

1.一种光固化性树脂组合物，其特征在于，含有含硅酮骨架高分子化合物(A)、和在190～500nm的光下会分解而产生酸的光致产酸剂(B)，

所述含硅酮骨架高分子化合物(A)由下述式(1)表示，包含硅酮骨架且重均分子量为3000～500000，

式(1)中，R¹～R⁴各自独立地表示碳原子数1～8的一价烃基，m与n各自独立地为0～300的整数，此外，a、b都是正数且a+b＝1，X是选自由下述通式(2)、(3)、(4)、(5)及(6)表示的二价基团的群组中的连结基，当将由下述通式(2)表示的单元的摩尔数设为c、将由下述通式(3)表示的单元的摩尔数设为d、将由下述通式(4)表示的单元的摩尔数设为e、将由下述通式(5)表示的单元的摩尔数设为f、将由下述通式(6)表示的单元的摩尔数设为g时，c、d、e、g为0或正数，f为正数，其中，c+d+e为正数；

式(2)、式(3)中，V、Z是选自下式中的任一个的2价有机基，-CH₂-、

j和p为0或1，此外，R⁵和R⁸表示氢原子或甲基，h和k为0～7的整数，R⁶、R⁷、R⁹及R¹⁰各自独立地为碳数1～4的烷基或烷氧基，彼此不同或相同，i和r为0、1、及2中的任一个，

式(4)中，R¹¹表示氢原子或甲基，q为0～7的整数，

式(5)中，Y为二价有机基，R¹²各自独立地表示氢原子或碳原子数1～8的一价烃基，一部分被卤素原子取代或不被卤素原子取代，彼此不同或相同，R¹³各自独立地表示碳原子数1～8的亚烷基，彼此不同或相同，此外，R^x是单键或与R^xx闭环而形成环结构的基团，R^xx是氢原子或碳原子数1～8的一价烃基，

式(6)中，t与u各自独立地为0～300的整数，此外，R¹⁴表示氢原子或甲基，R¹⁵与R¹⁶各自独立地表示碳原子数1～8的一价烃基，s为0～7的整数，

并且，前述通式(5)为下述式(5-1)，

式(5-1)中，R¹²及R¹³与上文所述相同；R¹⁷各自独立地表示碳原子数1～8的亚烷基，彼此不同或相同；R¹⁸各自独立地表示氢原子或碳原子数1～8的一价烃基，一部分被卤素原子取代或不被卤素原子取代，彼此不同或相同，Y是从下述式中选出的二价有机基团，

2.如权利要求1所述的光固化性树脂组合物，其中，进一步含有交联剂(C)。

3.如权利要求2所述的光固化性树脂组合物，其中，前述交联剂(C)是选自经甲醛或甲醛-醇改性后的胺缩合物、1分子中平均具有2个以上羟甲基或烷氧基羟甲基的酚化合物、及1分子中平均具有2个以上环氧基的环氧化合物中的任一种以上。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光固化性树脂组合物，其中，进一步含有溶剂(D)。

5.如权利要求1至3中任一项所述的光固化性树脂组合物，其中，进一步含有碱性化合物(E)。

6.一种光固化性干膜，其特征在于，是权利要求1至3中任一项所述的光固化性树脂组合物涂布在支撑膜上并经过干燥而成。

7.一种积层体，其特征在于，在具有开口宽度为10～100μm且深度为10～120μm的槽和孔中的任一者或两者的基板上，形成有权利要求1至3中任一项所述的光固化性树脂组合物的固化物层。