[发明专利]传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置

权利要求书

1.一种传送装置，包括：至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件，其中，

所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；

所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。

2.根据权利要求1所述的传送装置，其中，所述第一承载垫的材料与所述被传送物相比得电子的能力更强，所述第二承载垫的材料与所述被传送物相比失电子的能力更强。

3.根据权利要求1或2所述的传送装置，其中，当所述第一传送部件和所述第二传送部件至少之一为多个时，所述第一传送部件和所述第二传送部件彼此相邻设置和/或间隔设置。

4.根据权利要求3所述的传送装置，其中，所述传送装置的全部所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述传送装置的全部所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。

5.根据权利要求4所述的传送装置，其中，所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。

6.根据权利要求5所述的传送装置，其中，所述传送装置包括多个组合结构，所述第一传送部件和所述第二传送部件属于同一个组合结构或属于不同的组合结构，所述传送装置包括至少一个第一组合结构和至少一个第二组合结构，所述第一组合结构由至少一个所述第一传送部件组成，所述第二组合结构由至少一个所述第二传送部件组成。

7.根据权利要求6所述的传送装置，其中，所述第一组合结构和所述第二组合结构彼此相邻设置和/或间隔设置。

8.根据权利要求4-7中任一项所述的传送装置，其中，当所述被传送物的材料为玻璃基板时，所述第一承载垫的材料包括胶木或者松香或者聚四氟乙烯或者硫磺中至少之一，所述第二承载垫的材料包括羊皮或者橡胶或者石英中至少之一。

9.根据权利要求8所述的传送装置，其中，所述第一传送部件包括第一机械手臂，所述第二传送部件包括第二机械手臂，所述第一承载垫设置在所述第一机械手臂上，所述第二承载垫设置在所述第二机械手臂上。

10.根据权利要求9所述的传送装置，其中，所述第一传送部件还包括第一传输平台，所述第二传送部件还包括第二传输平台，所述第一传输平台的上表面的材料和所述第一承载垫的材料具有相同的得失电子的性能；

所述第二传输平台的上表面的材料和所述第二承载垫的材料具有相同的得失电子的性能。

11.根据权利要求9所述的传送装置，其中，所述第一传输平台的上表面的材料和所述第一承载垫的材料相同或者不同，所述第二传输平台的上表面的材料和所述第二承载垫的材料相同或者不同。

12.根据权利要求11所述的传送装置，其中，所述第一传输平台和所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二传输平台和所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。

13.根据权利要求8所述的传送装置，其中，所述第一传送部件包括传输平台，所述第二传送部件包括机械手臂，所述第一承载垫设置在所述传输平台上，所述第二承载垫设置在所述机械手臂上。

14.根据权利要求13所述的传送装置，其中，所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。

15.一种真空蒸镀装置，包括权利要求1-14中任一项所述的传送装置、真空蒸镀腔和设置于所述真空蒸镀腔中的蒸发源。