[发明专利]传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置

说明书

本公开提供一种传送装置，该传送装置包括至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件。所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。本公开通过改变传送部件的和被传送物接触部分(例如，第一承载垫和/或第二承载垫)的材料的相对得电子和失电子的能力，在保证摩擦力足够大的情况下，减少静电带来的不利影响，从而可以加快被传送物被传送的速率，提高生产效率，同时还可以提高产品的良率。

技术领域

本发明的实施例涉及一种传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置。

背景技术

在显示技术领域中，通常需要在在真空环境下在衬底基板上连续形成各层膜层结构，因此，需要使用传送装置将待成膜的衬底基板进行传送。

例如，OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置具有自发光、无需背光模组、对比度高、清晰度高、视角宽、全固化、适用于挠曲性面板、温度特性好、低功耗、响应速度快以及制造成本低等一系列优异特性，而得到了广泛的应用。OLED显示器件的基本结构包括阳极层，功能膜层以及阴极层等，上述功能膜层可以包括空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等，有机发光层的成膜方法有很多种，包括蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等，蒸镀成膜法由于具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小以及易于实现掺杂等优点，目前多采用蒸镀成膜法形成有机发光层等有机功能膜层，即在真空环境下，将有机材料加热使其气化或者升华，并沉积到衬底基板上形成对应的功能膜层。

在真空环境下，需要通过衬底基板与传送装置之间的摩擦力控制衬底基板传输的稳定性，如果衬底基板与传送装置之间的摩擦力太小，容易导致衬底基板滑动或者偏移，从而造成各膜层之间对位不精准的问题，进而影响了产品的良率，并且摩擦容易产生静电，随着传送过程的进行，也会在真空腔室中积累大量的静电，大量静电的存在可能会造成衬底基板产生碎片、破坏衬底基板上的电路，甚至损坏掩膜板。

发明内容

本发明至少一实施例提供一种传送装置，该传送装置包括：至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件，其中，所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。

例如，在本发明至少一实施例提供的传送装置中，所述第一承载垫的材料与所述被传送物相比得电子的能力更强，所述第二承载垫的材料与所述被传送物相比失电子的能力更强。

例如，在本发明至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传送部件和所述第二传送部件彼此相邻设置和/或间隔设置。

例如，在本发明至少一实施例提供的传送装置中，所述传送装置的全部所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述传送装置的全部所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。

例如，在本发明至少一实施例提供的传送装置中，所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。

例如，在本发明至少一实施例提供的传送装置中，所述传送装置包括多个组合结构，所述第一传送部件和所述第二传送部件属于同一个组合结构或属于不同的组合结构，所述传送装置包括至少一个第一组合结构和至少一个第二组合结构，所述第一组合结构由至少一个所述第一传送部件组成，所述第二组合结构由至少一个所述第二传送部件组成。

例如，在本发明至少一实施例提供的传送装置中，所述第一组合结构和所述第二组合结构彼此相邻设置和/或间隔设置。