[发明专利]一种焊盘结构有效
| 申请号： | 201710212624.3 | 申请日： | 2017-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN108666287B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 牛刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;冯永贞 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 盘结 | ||
1.一种焊盘结构，包括接触结构和设置于所述接触结构之上以用于实现电连接的焊盘层，所述接触结构包括若干间隔设置的接触单元，若干接触单元分为边缘区域接触单元和中心区域接触单元，各边缘区域接触单元在所述焊盘层上投影的面积大于各中心区域中接触单元在所述焊盘层上投影的面积；
边缘区域接触单元包括若干子接触单元，若干子接触单元一体成型；或者，
边缘区域接触单元的数量为至少为N个，在N个边缘区域接触单元中，各边缘区域接触单元包括一个子接触单元和一个切割部分，任一边缘区域接触单元中切割部分与子接触单元一体成型，一个子接触单元可在纵向拆分为所述N个边缘区域接触单元中N个切割部分的形状，N大于或等于2。
2.根据权利要求1所述的焊盘结构，其特征在于，所述接触结构中的接触单元排列成矩形阵列；
所述矩形阵列中，最外侧的接触单元即为所述边缘区域接触单元，其余的接触单元即为所述中心区域接触单元。
3.根据权利要求1所述的焊盘结构，其特征在于，所述接触单元在所述焊盘层上投影的形状为方形或长宽不等的长方形。
4.根据权利要求3所述的焊盘结构，其特征在于，所述边缘区域接触单元在所述焊盘层上投影的形状为四个顶角缺失的方形或长宽不等的长方形。
5.根据权利要求4所述的焊盘结构，其特征在于，所述四个顶角缺失的部位在所述焊盘层上的投影呈平滑的曲线状。
6.根据权利要求3至5任一项所述的焊盘结构，其特征在于，所述边缘区域接触单元在所述焊盘层上的投影的相互垂直的两个边长分别至少为1um和1.5um。
7.根据权利要求3至5任一项所述的焊盘结构，其特征在于，所述中心区域接触单元在所述焊盘层上的投影的相互垂直的两个边长分别至少为0.5um和1um。
8.根据权利要求1所述的焊盘结构，其特征在于，所述接触单元与所述焊盘层边缘的距离至少为0.6um。
9.根据权利要求1所述的焊盘结构，其特征在于，所述接触单元包括通孔。
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