[发明专利]节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法

权利要求书

1.一种节流单元，所述节流单元用于静压轴承装置，所述节流单元使工作流体从至少一个供给孔流入，使所流入的所述工作流体流向微小的节流流路，使通过了所述节流流路的所述工作流体从至少一个排出孔流出，

所述节流单元的特征在于，具备：

在平面上具有至少一个微小槽的平板状的带槽块体；以及

具有与所述微小槽对置的平面的平板状的对置块体，

所述带槽块体与所述对置块体相互对置地以能够装卸的方式进行结合，

由所述微小槽和所述对置块体的平面形成所述节流流路，

所述微小槽的至少一个面由相对于所述带槽块体的平面倾斜的斜面构成，

所述微小槽的截面面积沿所述微小槽的延伸方向恒定，

所述微小槽的槽宽和槽深能够通过从与所述带槽块体的平面垂直的方向上的观察进行测量。

2.根据权利要求1所述的节流单元，其特征在于，

所述微小槽从所述供给孔至所述排出孔以直线状延伸。

3.根据权利要求1或2所述的节流单元，其特征在于，

多个所述微小槽经由所述供给孔配置于同一直线上。

4.根据权利要求1或2所述的节流单元，其特征在于，

相对于一个所述供给孔连通有多个所述节流流路，

在多个所述节流流路分别连通有相互独立的所述排出孔，

供给至一个所述供给孔的所述工作流体向多个所述节流流路分支而从多个所述排出孔排出。

5.根据权利要求1或2所述的节流单元，其特征在于，

所述带槽块体或者所述对置块体兼作滑动的部件、引导的部件或者其他的节流单元的部件。

6.根据权利要求1或2所述的节流单元，其特征在于，

就所述微小槽而言，在从所述供给孔至所述排出孔的流路的至少一部分，槽宽以及槽深连续地变化。

7.根据权利要求1或2所述的节流单元，其特征在于，

所述微小槽的从所述供给孔至所述排出孔的流路的深度的最小值为1000μm以下。

8.一种静压轴承装置，在具有移动部和固定部的直动轴构造或者旋转轴构造中，静压轴承构成于所述移动部与所述固定部之间，

所述静压轴承装置的特征在于，具备：

向形成于所述移动部或者所述固定部的静压凹部供给工作流体的流体供给管路；以及

设置于所述流体供给管路的节流单元，

所述节流单元是权利要求1～7中任一项所述的节流单元。

9.一种带槽块体的制造方法，该带槽块体为平板状，且在平面上具有至少一个微小槽，

所述带槽块体的制造方法的特征在于，

所述带槽块体为节流单元的构成部件，所述节流单元用于静压轴承装置，所述节流单元使工作流体从至少一个供给孔流入，使所流入的所述工作流体流向微小的节流流路，使通过了所述节流流路的所述工作流体从至少一个排出孔流出，

所述节流单元具备所述带槽块体以及具有与所述微小槽对置的平面的平板状的对置块体，所述带槽块体与所述对置块体相互对置地以能够装卸方式进行结合，由所述微小槽和所述对置块体的平面形成所述节流流路，

所述带槽块体的制造方法包括：

切削工序，通过切削加工在材料块体的平面形成至少一个面由相对于所述材料块体的所述平面倾斜的斜面构成的微小槽，使得微小槽的截面面积沿所述微小槽的延伸方向恒定；

深度计算工序，利用显微镜从与所述材料块体的所述平面垂直的方向观察形成于所述切削工序的所述微小槽，并且对观察到的所述微小槽的槽深和槽宽进行计算；以及

修正工序，基于计算出的所述槽深，对进行切削加工的加工装置进行修正。