[发明专利]节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法

说明书

本发明提供节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法。节流单元(14A)具备在平面(15)上具有至少一个微小槽(25)的带槽块体(24)以及具有与微小槽(25)对置的平面(27)的对置块体(26)。带槽块体(24)与对置块体(26)相互对置地以能够装卸的方式进行结合，由微小槽(25)和对置块体(26)的平面(27)形成节流流路(18)。微小槽(25)的至少一个面由相对于带槽块体(24)的平面(15)倾斜的斜面或者曲面构成。

技术领域

本发明涉及节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法。

背景技术

在机床中，静压轴承用作直动轴或者旋转轴的工作台的引导装置。在静压轴承中，例如在为直动轴的情况下，向形成于滑动件或者引导件的轴承面的静压凹部供给油、空气等工作流体，利用工作流体的静压力而使滑动件从作为固定部的引导件浮起，从而能够使滑动件沿着引导件以非接触的方式移动。

通常，为了获得静压轴承的刚性，需要如下构造：在从泵向静压凹部供给工作流体的配管的中途设置成为配管阻力的节流单元(配管阻力装置)，对从泵供给的工作流体的流量进行节流。在成为节流的路径的微小流路的截面积越小或者越长时，配管阻力亦即节流的强度越强。静压凹部内的工作流体的压力成为由泵供给的压力的0.5倍的节流的强度是最佳的节流强度，能够获得最大的轴承刚性。

作为通常的节流单元，存在使用注射针那样的细管的节流单元(以下，称为“针节流件”)、将外螺纹与内螺纹的间隙的微小流路设为节流件的节流单元(以下，称为“螺纹节流件”)。螺纹节流件例如在日本特开平11-210905号公报中公开。

作为针节流件的问题点，能够列举如下几点：用于组装针的构造复杂且耗费组装工时；针的内径的误差容易体现为节流强度的个体差异且节流强度的个体差异较大；针容易脱落而使可靠性较差从而存在节流强度因该影响而连续变化的可能性；在针的粗细存在限度，为了实现恒定以上的节流强度而需要形成特殊形状的较长的细管而使成本变高；在针堵塞垃圾等异物时的清扫较困难。

作为螺纹节流件的问题，能够列举如下几点：构成部件较多使构造复杂且耗费组装工时；必须进行精确的调整且因该调整状态而使节流强度的个体差异大；存在节流强度因螺纹的松弛而连续变化的可能性；部件件数多而使成本高；堵塞有垃圾等异物时的清扫困难。

作为克服上述的问题点的一部分的节流单元存在如下节流单元(以下，称为“槽节流件”)：将在平面进行槽加工的块体与平面的块体重叠而形成的微小流路作为节流件。日本特开2006-266358号公报所记载的槽节流件利用截面为大致正方形的简单的槽形状与简单的部件结构形成微小流路，因此存在消除了出现于针节流件、螺纹节流件的构成部件的脱落、位置偏移所引起的组装后节流强度连续变化的可能性的优点。

另外，日本特开2006-266358号公报所记载的槽节流件通过层叠在形成微小流路的平面进行槽加工的块体而使流路(节流的路径)延长，能够阶段性地变更节流的强度，能够在一定程度的范围内抑制节流强度的个体差异。

发明内容

如上所述，在成为节流的路径的微小流路的截面积越小或者越长时，节流的强度越强。通常，流路的阻力与流路长度成比例，与流路直径的四次方(截面积的平方)成反比例。即，在构成截面积的槽宽与槽深中，特别地，对相当于上述的流路直径的槽深的形成进一步要求正确性。

如上所述，槽深是影响节流强度的重要的因素，但日本特开2006-266358号公报的截面呈大致正方形，在作为检查其槽深的方法而使用显微镜从上方观察槽的通常的方法中，即使能够测定槽宽，也无法测定显微镜的视野中的成为进深方向的槽深。