[发明专利]用于检测压力的电子装置有效

专利信息
申请号: 201710220333.9 申请日: 2017-04-06
公开(公告)号: CN107389256B 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 华礼生;孙启军;庄佳庆 申请(专利权)人: 香港城市大学
主分类号: G01L9/06 分类号: G01L9/06
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 金旭鹏;肖冰滨
地址: 中国香港九龙*** 国省代码: 香港;81
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摘要:
搜索关键词: 用于 检测 压力 电子 装置
【权利要求书】:

1.一种制造用于检测压力的电子装置的方法,所述电子装置包括用于传导电流的电流通道,其中该电流通道被设置在压力敏感结构附近或与所述压力敏感结构邻接;以及当所述压力敏感结构受到外部压力变化时,该压力敏感结构用于改变所述电流通道的第一电特性,其特征在于,所述制造用于检测压力的电子装置的方法包括步骤:

在衬底的第一侧上制备用于限定所述电流通道的第一材料层;以及

在与所述衬底的所述第一侧相反的第二侧上制备压力敏感结构,包括:

在所述衬底的所述第二侧上制备间隔结构;

在所述间隔结构上粘接第三材料层以封装所述第三材料层与所述衬底之间的第二材料层。

2.根据权利要求1所述的制造电子装置的方法,其中在所述衬底的所述第一侧上制备所述第一材料层的步骤包括:

在所述衬底的所述第一侧上沉积绝缘层;以及

在所述绝缘层上沉积所述第一材料层。

3.根据权利要求1所述的制造电子装置的方法,该方法还包括在所述第一材料层上沉积电极的步骤。

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