[发明专利]用于检测压力的电子装置

说明书

一种用于检测压力的电子装置，包括：用于传导电流的电流通道，其中该电流通道被设置在压力敏感结构附近或与所述压力敏感结构邻接。当所述压力敏感结构受到外部压力变化时，该压力敏感结构用于操纵所述电流通道的第一电特性，将外部压力信号实时的转化为电信号。

技术领域

本发明涉及用于检测压力的电子装置和用于制造该电子装置的方法，更具体地涉及使用简单且低成本制造技术。

技术背景

压力传感器可以用于测量压力，例如空气中的气压或水箱中的流体压力。在电子压力传感器中，压力传感器可以把施加的压力生成电信号。

压力传感器还可以用作测量大气压力的气压计组件。

发明内容

根据本发明的第一方面，提供了用于检测压力的电子装置，包括：用于传导电流的电流通道，其中该电流通道被设置在压力敏感结构附近或与所述压力敏感结构邻接；以及当所述压力敏感结构受到外部压力变化时，该压力敏感结构用于改变所述电流通道的第一电特性。

在第一方面的实施方式中，所述电流通道的所述第一电特性响应于所述压力敏感结构的第二电特性的变化而变化。

在第一方面的实施方式中，所述第一电特性是电阻。

在第一方面的实施方式中，所述电流通道存在第一材料层中，所述电流在第一材料层中传导。

在第一方面的实施方式中，所述第一材料层为半导体材料。

在第一方面的实施方式中，所述第一材料层为有机半导体材料或基于氧化物的半导体材料。

在第一方面的实施方式中，该电子装置还包括设置在所述第一材料层上的电极，所述电极被配置为实现所述电流通道与电源之间的电连接。

在第一方面的实施方式中，所述电极还用作为晶体管的源极和漏极。

在第一方面的实施方式中，所述第二电特性是电容。

在第一方面的实施方式中，所述压力敏感结构包括具有所述电容的第二材料层。

在第一方面的实施方式中，所述第二材料层包括电介质材料。

在第一方面的实施方式中，所述第二材料层包括聚合物填充材料和空气中的至少一者。

在第一方面的实施方式中，所述电容值基于所述第二材料层厚度的变化而变化。

在第一方面的实施方式中，所述压力敏感结构还包括第三材料层，用于实现所述压力敏感结构受到的外部压力变化时改变所述第二材料层的厚度。

在第一方面的实施方式中，所述第三材料层是柔性的，且所述第三材料层在所述压力敏感结构受到外部压力变化时变形以改变第二材料层的厚度。

在第一方面的实施方式中，所述压力敏感结构还包括间隔结构，用于限定所述第二材料层的尺寸，且其中所述第二材料层被所述间隔结构和所述第三材料层封装。

在第一方面的实施方式中，所述间隔结构包括胶带和光阻材料中的至少一者。

在第一方面的实施方式中，所述第三材料层包括导电材料。

在第一方面的实施方式中，所述第三材料层包括铝膜和具有导电材料覆层的聚合物膜中的至少一者。

在第一方面的实施方式中，所述压力敏感结构还用作为晶体管结构的栅极。

在第一方面的实施方式中，该电子装置还包括沉积在衬底的第一侧的绝缘层，其中限定所述电流通道的第一材料层被设置在该绝缘层上且所述压力敏感结构被设置在与该衬底的第一侧相反的第二侧上。

在第一方面的实施方式中，所述绝缘层包括聚合物材料和金属氧化物材料的至少一者。