[发明专利]硬掩模用组合物有效
| 申请号： | 201710220902.X | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN107340687B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;梁敦植;金相泰;成始震 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬掩模用 组合 | ||
1.一种硬掩模组合物，其包含分子内含有两个以上叔醇基的化合物和溶剂，
所述化合物为选自由下述化学式1～化学式3所表示的化合物组成的组中的至少一种：
化学式1
式中，n为1～10，
R1和R2各自独立地为碳原子数1～6的脂肪族烃基或碳原子数6～20的芳基，
Ar1各自独立地为碳原子数6～20的亚芳基，
Ar2和Ar3各自独立地为碳原子数6～20的芳基，
所述Ar1、Ar2、Ar3、R1和R2可各自独立地被-OH、-ORa、-OAra、-Ra、-Ara进一步取代，所述-Ra为碳原子数1～6的脂肪族烃基，所述-Ara为碳原子数6～20的芳基，
化学式2
式中，n为2～10，
R3各自独立地为碳原子数1～6的脂肪族烃基或碳原子数6～20的芳基，
Ar4为n个氢原子可被取代的碳原子数6～20的芳基，
Ar5各自独立地为碳原子数6～20的芳基，
所述R3、Ar4和Ar5可各自独立地被-OH、-ORa、-OAra、-Ra、-Ara进一步取代，所述-Ra为碳原子数1～6的脂肪族烃基，所述-Ara为碳原子数6～20的芳基，
化学式3
式中，R4和R5各自独立地为碳原子数1～6的脂肪族烃基或碳原子数6～20的芳基，
Ar6和Ar7各自独立地为碳原子数6～20的亚芳基，
所述R4、R5、Ar6和Ar7可各自独立地被-OH、-ORa、-OAra、-Ra、-Ara进一步取代，所述-Ra为碳原子数1～6的脂肪族烃基，所述-Ara为碳原子数6～20的芳基。
2.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述Ar1、Ar6和Ar7各自独立地为亚苯基、萘二基、蒽二基、芪二基或芘二基。
3.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述Ar2、Ar3和Ar5各自独立地为苯基、萘基、蒽基、芪基或芘基。
4.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述Ar4为苯基、萘基、蒽基、芪基或芘基。
5.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，所述R1～R5各自独立地为甲基、乙烯基、烯丙基或苯基。
6.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，组合物总重量中，包含所述化合物10～70重量％、所述溶剂30～90重量％。
7.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，其进一步包含交联剂和催化剂中的至少一种。
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