[发明专利]适用于全框式导电的电镀治具的测漏方法与装置

权利要求书

1.一种全框式导电的电镀治具的测漏方法，适用于一全框式导电的电镀治具，该电镀治具并设置一测漏孔；该测漏方法包含下列步骤：

提供一测漏装置；

将该测漏装置与该电镀治具接合；

启动该抽真空马达；

判定该电镀治具有无渗漏现象。

2.如权利要求1所述的全框式导电的电镀治具的测漏方法，其中该测漏装置还包括：用于接合该电镀治具上测漏孔的一测漏孔接合件、连接于该测漏孔接合件的一压力计、与连接于该流量计的一抽真空马达。

3.如权利要求1所述的全框式导电的电镀治具的测漏方法，其中将该测漏装置与该电镀治具接合步骤包含将该测漏装置的测漏孔接合件与该电镀治具上的测漏孔密闭接合。

4.如权利要求1所述的全框式导电的电镀治具的测漏方法，其中该启动该抽真空马达步骤自该电镀治具上的测漏孔抽气。

5.如权利要求1所述的全框式导电的电镀治具的测漏方法，其中该判定该电镀治具有无渗漏现象步骤包含：若该压力计停止于一预设值，判定该电镀治具无渗漏现象，反之，若该压力计并未停止于一预设值，判定该电镀治具有渗漏现象。

6.一种全框式导电的电镀治具的测漏装置，适用于一全框式导电的电镀治具，该电镀治具并设置一测漏孔；该测漏装置包含：一测漏孔接合件、一压力计、与一抽真空马达；该测漏孔接合件用于接合该电镀治具上的测漏孔；该压力计连接于该测漏孔接合件；该抽真空马达连接于该压力计。

7.如权利要求6所述的测漏装置，其中该测漏孔接合件与该电镀治具上的测漏孔密闭接合。