[发明专利]抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的操作方法

权利要求书

1.抽真空效率高的光学用真空腔体，包括真空腔室和蒸发加热装置，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，蒸发加热装置用于将薄膜材料加热蒸发，真空腔室外侧设有通道，抽真空装置通过通道与真空腔室连通，其特征在于，真空腔室的底部设有台阶，台阶的形状与蒸发加热装置相匹配，通道外表面设有通孔，通道外设置环形的热空气储热部，热空气储热部和通道之间设有用于储存收集热空气的环形区域；热空气储热部与真空腔室固定连接；还包括余热利用收集部，所述余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连；通道的靠近抽真空装置的端口和/或热空气储热部的靠近抽真空装置的端口上设有阀门。

2.根据权利要求1所述的抽真空效率高的光学用真空腔体，其特征在于，所述热空气储热部采用绝热柔性材质制成；热空气储热部与真空腔室通过胶黏剂固定连接；所述余热利用收集部采用弹性材质制成。

3.根据权利要求1所述的抽真空效率高的光学用真空腔体，其特征在于，所述通道的位于下底部的内壁上设有至少一根余热利用收集部的支撑杆，所述支撑杆的一端固定连接在通道的内壁上。

4.根据权利要求1所述的抽真空效率高的光学用真空腔体，其特征在于，所述台阶上设有用于支撑余热利用收集部的凹槽，凹槽的形状与余热利用收集部匹配。

5.根据权利要求1所述的抽真空效率高的光学用真空腔体，其特征在于，所述腔室的顶部还固定设有刚性连接杆，刚性杆的另一端与余热利用收集部固定连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的抽真空效率高的光学用真空腔体，其特征在于，所述余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连，另一个端口正对着蒸发加热装置，正对着蒸发加热装置的端口上设置一个用于密封此端口的夹子；所述夹子由两个均形成钝角的折线形夹子杆构成，两个夹子杆的靠近其中一端的中部通过铰接轴铰连接在一起，夹子杆的前端为用于夹紧余热利用收集部的端口的夹子头，夹子杆的后端为用于操作夹子夹紧或松开的夹子把，所述夹子把通过真空腔室侧面设置的侧通孔伸出真空腔室外，真空腔室侧面设置将夹子把和侧通孔密封的塑料密封包，所述塑料密封包通过胶黏剂固定连接在真空腔室的侧面，所述塑料密封包由一段硬质塑料和一段弹性软质塑料构成，弹性软质塑料位于整个塑料密封包的靠近夹子把处。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的抽真空效率高的光学用真空腔体，其特征在于，所述余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连，另一个端口经弯折后位于通道内且被夹子夹紧，所述夹子把通过通道上壁设置的第二通孔以及热空气储热部上壁上设置的贯穿孔伸出热空气储热部外，热空气储热部的贯穿孔处设置将夹子把和热空气储热部的贯穿孔密封的塑料密封包，所述塑料密封包通过胶黏剂固定连接在热空气储热部的外表面，所述塑料密封包由一段硬质塑料和一段弹性软质塑料构成，弹性软质塑料位于整个塑料密封包的靠近夹子把处。

8.用于对权利要求6所述的光学用真空腔体抽真空的操作方法，其特征在于，具体步骤如下：

a. 在真空腔室上和热空气储热部上分别连接真空度表；

b.夹子夹紧余热利用收集部的正对着蒸发加热装置正上方的端口后启动抽真空装置，当余热利用收集部和热空气储热部形成的空间内的真空度低于真空腔室的目标真空度时将热空气储热部的靠近抽真空装置的一端夹紧密封；

c.待真空腔室抽真空完成后开始加热蒸发源，这时通过伸出真空腔室侧面的夹子把将余热利用收集部的正对加热装置正上方的端口打开，加热镀膜结束，再通过伸出真空腔室侧面的夹子把将余热利用收集部的正对加热装置正上方的端口夹紧密封；

d.下次抽真空时先保持热空气储热部密封，抽真空一段时间后再打开热空气储热部的靠近抽真空装置的一端，根据真空度表的示数当热空气储热部的真空度低于真空腔室目标真空度时夹紧热空气储热部的靠近抽真空装置的一端，然后重复步骤c；

e.重复步骤d。