[发明专利]抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的操作方法

说明书

本发明公开了一种抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的方法，包括真空腔室和蒸发加热装置，真空腔室的顶部固定设有样品夹具，真空腔室的底部设有台阶，台阶的形状与蒸发加热装置相匹配，蒸发加热装置用于将薄膜材料加热蒸发，真空腔室外侧设有通道，抽真空装置通过通道与真空腔室连通，通道外表面设有通孔，通道外设置环形的热空气储热部，热空气储热部和通道之间设有用于储存收集热空气的环形区域；热空气储热部与真空腔室固定连接；还包括余热利用收集部，余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连。本发明通过余热利用收集部的设置，利用抽真空及余热收集，避免进口室或出口室在抽真空时结冰，提高了抽真空的效率。

技术领域

本发明涉及一种抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的操作方法。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜。在真空镀膜过程中，进口室与出口室由于经常与大气接触，在反复抽真空放大气的过程中，在抽气管道端部容易出现结冰的现象，影响到抽真空的效率，甚至堵塞了抽气管道。

一般的，在真空镀膜的进口室与出口室布满类似镀膜主室的加热丝，在真空镀膜过程中，启动加热丝的加热功能，使加热丝自身产生热量，并将热量传递给与加热丝接触的进口室与出口室，使进口室与出口室的温度升高，在抽真空放大气过程所排出的气体不会使进口室与出口室因温度低而结冰，提高了抽真空的效率。

但是，在进口室与出口室设置加热丝，加热丝的功率较高，会造成能源的浪费；且加热丝加热电压较高，有安全隐患。而本身真空镀膜会依次经历抽真空、加热及镀膜工序，如果能充分利用加热工序产生的热反而用于提高进口室或出口室的温度，则既解决了问题又节省了能源。

另外，在镀膜之前的加热过程中，未达到蒸发物的蒸发温度时就会有蒸发源将杂质蒸发掉，另有一些蒸发物在加热蒸发过程中会释放出气体。这些杂质和不稳定的气体扩散会造成薄膜厚度不均、组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等缺点，影响镀膜质量，薄膜质量侧直接影响显示器件的发光效率。

发明内容

本发明主要解决的技术问题在于，提供一种抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的操作方法，通过余热利用收集部的设置，利用抽真空工序使得余热利用收集部在加热镀膜前其真空度比真空腔室低，然后将加热时余热收集用于后续抽真空过程的通道保温，避免进口室或出口室在抽真空时结冰，提高了抽真空的效率。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：抽真空效率高的光学用真空腔体，包括真空腔室和蒸发加热装置，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，真空腔室的底部设有台阶，台阶的形状与蒸发加热装置相匹配，蒸发加热装置用于将薄膜材料加热蒸发，真空腔室外侧设有通道，抽真空装置通过通道与真空腔室连通，通道外表面设有通孔，通道外设置环形的热空气储热部，热空气储热部和通道之间设有用于储存收集热空气的环形区域；热空气储热部与真空腔室固定连接；还包括余热利用收集部，所述余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连；通道的靠近抽真空装置的端口和/或热空气储热部的靠近抽真空装置的端口上设有阀门。也即通道和真空腔室是连通的，通道内和真空腔室内的真空度一致；热空气储热部与通道之间的环形区域和余热利用收集部是连通的，环形区域内的真空度和余热利用收集部内的真空度一致；但这两部分是不连通的，两者的真空度不同。

作为本发明抽真空效率高的光学用真空腔体的进一步改进，热空气储热部采用绝热柔性材质制成；热空气储热部与真空腔室通过胶黏剂固定连接；所述余热利用收集部采用弹性材质制成。采用绝热柔性材质制成的热空气储热部能够保证余热利用收集部在吸收热空气后保温，且能在达到比真空腔室目标真空度低的真空度后通过密封措施先将热空气储热部密封。

作为本发明抽真空效率高的光学用真空腔体的进一步改进，通道的位于下底部的内壁上设有至少一根余热利用收集部的支撑杆，所述支撑杆的一端固定连接在通道的内壁上。这样的设置保证了余热利用收集部的目标端口平直、能够对准蒸发加热装置。