[发明专利]一种监控涂布显影设备灯箱内臭氧含量的装置及方法

权利要求书

1.一种监控涂布显影设备灯箱内臭氧含量的装置，所述装置包括灯箱，其特征在于，所述灯箱的上部设有气体引入口，所述气体引入口上分别设有用于检测气体流量的气体流量传感器和用于控制气体流量的气体流量开关，所述灯箱的箱体上设有与气体流量传感器连接的气体流量显示器；

所述灯箱的底部连接气体采样装置，所述气体采样装置连接用于检测臭氧浓度的气体分析仪。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体采样装置包括采样箱和真空泵，所述采样箱两个相对侧壁分别设有进气口和出气口，所述进气口连接灯箱的底部，所述出气口连接真空泵的进气端，所述真空泵的出气端连接三通阀，所述三通阀的两个端口分别连接气体分析仪和废气收集装置。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体采样装置包括密闭箱体和设置于所述密闭箱体内的采样球；

所述密闭箱体连接气泵；

所述采样球的两端分别设有进气孔和出气孔，所述进气孔连接灯箱的底部，所述出气孔连接三通阀，所述三通阀的两个端口分别连接气体分析仪和废气收集装置。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述采样箱的进气口与灯箱的底部之间、所述采样箱的出气口与真空泵的进气端之间、所述采样球的进气孔与灯箱的底部之间以及所述采样球的出气孔与三通阀之间均通过金属管道连接，所述金属管道上分别设有各自对应的开关阀。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述灯箱的内部设有用于使气体混合均匀的吊扇。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括一个用于根据气体分析仪的量测结果发出报警信息的报警器，所述报警器与气体分析仪之间电连接。

7.一种采用权利要求1-6任一项所述的装置监控涂布显影设备灯箱内臭氧含量的方法，其特征在于，包括如下步骤：

对灯箱内的气体进行采样；

量测采样气体中臭氧的浓度；

根据臭氧的浓度值，控制引入灯箱的稀释气体的流量。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述引入灯箱的稀释气体为氮气、氩气或氩气。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，当量测的臭氧浓度超过阈值时，报警器发出报警信息，通过控制气体流量开关向灯箱内引入稀释气体。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述臭氧浓度的阈值等于或小于3％。