[发明专利]抛光设备及检测方法有效

专利信息
申请号: 201710254306.3 申请日: 2017-04-18
公开(公告)号: CN108723986B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 马修·埃德温 申请(专利权)人: 上海新昇半导体科技有限公司
主分类号: B23Q15/22 分类号: B23Q15/22;B24B37/28
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 余昌昊
地址: 201306 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 抛光 设备 检测 方法
【权利要求书】:

1.一种抛光设备,包括:

壳体,位于所述壳体内的多个载体,位于所述壳体上的第一定位器和第二定位器,所述第一定位器指示所述载体的插入位置,所述第二定位器确认相邻载体之间的位置关系。

2.如权利要求1所述的抛光设备,其特征在于,所述第二定位器包括一检测部分、一比较部分和一警示部分,所述检测部分扫描所述多个载体的插入位置信息,所述比较部分依据所述插入位置信息与一设定标准进行比较并产生比较结果,所述警示部分依据所述比较结果警示异常或通过。

3.如权利要求2所述的抛光设备,其特征在于,所述检测部分为一自动光学检测相机。

4.如权利要求2所述的抛光设备,其特征在于,在所述设定标准中,所述多个载体均匀分布且具有设定角度差异。

5.如权利要求4所述的抛光设备,其特征在于,所述载体插入在一内环和一外环之间形成的轨道中。

6.如权利要求5所述的抛光设备,其特征在于,所述设定角度=360°/n,其中n为所述轨道中插入的载体的总数量。

7.如权利要求5所述的抛光设备,其特征在于,所述载体与所述内环和外环通过齿牙啮合。

8.如权利要求7所述的抛光设备,其特征在于,所述第一定位器发出一光斑,当所述光斑位于所述载体设定方向的相邻两个齿牙之间时进行所述载体的插入。

9.一种检测方法,采用如权利要求1-8中任意一项所述的抛光设备,包括:

开启所述第一定位器和所述第二定位器;

在所述第一定位器的指示下插入第一个载体,所述第二定位器记录所述第一个载体的位置;

在所述第一定位器的指示下插入第二个载体,所述第二定位器记录所述第二个载体的位置并与第一个载体插入时的位置进行比较;

若比较结果正常,进行第三个载体的插入;若比较结果异常,则重新进行第二个载体的插入,直至比较结果正常。

10.如权利要求9所述的检测方法,其特征在于,当所有载体皆插入后,关闭所述第一定位器和所述第二定位器。

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