[发明专利]对位标记及基板对位方法

权利要求书

1.一种对位标记，其特征在于，包括：条状的主对位标记(11)、以及与所述主对位标记(11)垂直相交的多个条状的辅助对位标记(12)；

所述多个辅助对位标记(12)沿所述主对位标记(11)的延伸方向间隔排列；

所述多个辅助对位标记(12)包括：一与所述主对位标记(11)的中点垂直相交的第一辅助对位标记(121)、与所述主对位标记(11)垂直相交的至少两个第二辅助对位标记(122)和至少两个第三辅助对位标记(123)，所述第二辅助对位标记(122)均设置在所述第一辅助对位标记(121)的一侧，所述第三辅助对位标记(123)均设置在所述第一辅助对位标记(121)的另一侧；

各个第二辅助对位标记(122)的宽度不同，每一个第二辅助对位标记(122)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度均大于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；

各个第三辅助对位标记(123)的宽度不同，每一个第三辅助对位标记(123)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度均小于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；

所述第一辅助对位标记(121)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度等于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度。

2.如权利要求1所述的对位标记，其特征在于，所述第二辅助对位标记(122)的宽度和第三辅助对位标记(123)的宽度随着其距离所述主对位标记(11)的中点的距离的增大而增大。

3.如权利要求1所述的对位标记，其特征在于，所述第二辅助对位标记(122)和第三辅助对位标记(123)的数量均为两个。

4.如权利要求1所述的对位标记，其特征在于，所述第二辅助对位标记(122)和第三辅助对位标记(123)的宽度均大于所述第一辅助对位标记(121)的宽度。

5.如权利要求1所述的对位标记，其特征在于，相邻的两个辅助对位标记(12)之间的距离相等。

6.一种基板对位方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供一基板(1)，在所述基板(1)上形成一对位标记(2)，所述对位标记(2)包括：条状的主对位标记(11)、以及与所述主对位标记(11)垂直相交的多个条状的辅助对位标记(12)；

所述多个辅助对位标记(12)沿所主对位标记(11)的延伸方向间隔排列；

所述多个辅助对位标记(12)包括：一与所述主对位标记(11)的中点垂直相交的第一辅助对位标记(121)、与所述主对位标记(11)垂直相交的至少两个第二辅助对位标记(122)和至少两个第三辅助对位标记(123)，所述第二辅助对位标记(122)均设置在所述第一辅助对位标记(121)的一侧，所述第三辅助对位标记(123)均设置在所述第一辅助对位标记(121)的另一侧；

各个第二辅助对位标记(122)的宽度不同，每一个第二辅助对位标记(122)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度均大于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；

各个第三辅助对位标记(123)的宽度不同，每一个第三辅助对位标记(123)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度均小于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；

所述第一辅助对位标记(121)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度等于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；

步骤S2、记录每一个第二辅助对位标记(122)的宽度和其距离所述主对位标记(11)的中点的距离、以及每一个第三辅助对位标记(123)的宽度和其距离所述主对位标记(11)的中点的距离；

步骤S3、提供一对位机台，所述对位机台包括对位镜头(3)，将所述对位镜头(3)移动到预设的对位位置，使得所述对位镜头(3)的视野范围内出现一个辅助对位标记(12)，记录该辅助对位标记(12)与主对位标记(11)的交汇的区域的中心点的坐标；

步骤S4、比较所述对位镜头(3)的视野中的辅助对位标记(12)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度及其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度的大小，根据比较结果确定该辅助对位标记(12)的种类；

当该辅助对位标记(12)为第二辅助对位标记(122)或第三辅助对位标记(123)时，则进入步骤S5；

当该辅助对位标记(12)为第一辅助对位标记(121)时，则以该辅助对位标记(12)与主对位标记(11)的交汇的区域的中心点的坐标作为对位标记(2)的中心点的坐标完成基板的对位；

步骤S5、测量该辅助对位标记(12)的宽度，根据该辅助对位标记(12)的宽度确定其距离主对位标记(11)的中点的距离；

根据该辅助对位标记(12)的种类、该辅助对位标记(12)距离主对位标记(11)的中点的距离、以及该辅助对位标记(12)与主对位标记(11)的交汇的区域的中心点的坐标求出所述对位标记(2)的中心点的坐标，根据对位标记(2)的中心点的坐标完成基板的对位。