[发明专利]对位标记及基板对位方法

说明书

本发明提供一种对位标记及基板对位方法。所述对位标记包括：条状的主对位标记、以及与所述主对位标记垂直相交的多个条状的辅助对位标记，所述多个辅助对位标记包括：一第一辅助对位标记、至少两个宽度不同的第二辅助对位标记、以及至少两个宽度不同的第三辅助对位标记，所述第二辅助对位标记和第三辅助对位标记相对于主对位标记的位置不同，在基板对位时，可通过任意一个辅助对位标记与主对位标记的交汇区域的中心点坐标求出对位标记整体的中心点坐标，以完成对位标记中心点的定位，能够在对位镜头的视野不变的情况下，增大对位标记的可检测范围，减少基板对位时间，提升基板对位效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种对位标记及基板对位方法。

背景技术

随着显示技术的发展，平板显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机发光二极管显示器件(Organic Light EmittingDisplay，OLED)。

液晶显示器件和有机发光二极管显示器件的制作过程都包括多个光刻制程以及检测制程，而在执行光刻制程以及一些检测制程之前，都必须先使基板对位到正确的位置，以保证曝光或检测的准确性。而对位标记(Mark)便是用来支持基板对位操作的，对于精度较高的对位往往还分为粗对位和细对位两个步骤，其中在细对位标记正常的情况下，粗对位正常进行后切换高倍率镜头进行细对位都能顺利进行。

如图1所示，在基板粗对位的过程中，基板100上的四角分设有四个对位标记200，所述对位标记200的呈十字形，对位时将对位机台的对位镜头300移动到相应的对位位置，使得对位标记200出现在对位镜头300的视野范围内，再将十字形的中心点调整到对位的中心位置，以完成对位。在上述粗对位的过程中对位镜头视野范围很小，通常为1mm×1mm，稍有偏差就会出现对位镜头300移动到相应的对位位置后，对位镜头300的视野范围内没有对位标记200的情况，此时需要让对位镜头300在周围移动搜索以寻找到对位标记200才能完成定位，造成对位时间增加，生产效率降低。

因此，如何在现有的设备和光学系统不改变(即镜头的视野范围不变)的情况下，增大粗对位标记的可侦测范围成为了一个厄待解决的问题，特别是在有源有机发光二极管显示器件(Active Matrix Organic Light Emitting Display，AMOLED)的触控面板(TouchPanel)的半板制程中，由于基板的位置精度控制困难，使得这个问题更加重要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种对位标记，能增大对位标记的可检测范围，减少基板对位时间，提升基板对位效率。

本发明的目的还在于提供一种基板对位方法，能增大对位标记的可检测范围，减少基板对位时间，提升基板对位效率。

为实现上述目的，本发明提供了一种对位标记，包括：条状的主对位标记、以及与所述主对位标记垂直相交的多个条状的辅助对位标记；

所述多个辅助对位标记沿所述主对位标记的延伸方向间隔排列；

所述多个辅助对位标记包括：一与所述主对位标记的中点垂直相交的第一辅助对位标记、与所述主对位标记垂直相交的至少两个第二辅助对位标记和至少两个第三辅助对位标记，所述第二辅助对位标记和第三辅助对位标记分别设置在所述第一辅助对位标记的两侧；

各个第二辅助对位标记的宽度不同，每一个第二辅助对位标记位于所述主对位标记的上方的部分长度均大于其位于所述主对位标记的下方的部分长度；

各个第三辅助对位标记的宽度不同，每一个第三辅助对位标记位于所述主对位标记的上方的部分长度均小于其位于所述主对位标记的下方的部分长度；