[发明专利]一种减压扩散炉炉口的密封装置有效
申请号: | 201710259508.7 | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN107090594B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
主分类号: | C30B31/06 | 分类号: | C30B31/06;H01L21/223;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内层 回水腔 冷却腔 炉门 减压 扩散炉 支撑杆 支撑爪 端盖 卡槽 炉口 内圈 圆杆 外圈装有密封圈 太阳能电池板 活动链接 圆柱螺纹 制造设备 出水口 端面处 方形块 放置槽 进水口 密封性 石英管 销连接 圆管套 卡接 炉内 圆管 连通 | ||
1.一种减压扩散炉炉口的密封装置,包括石英管(1)及炉门(2),所述炉门(2)包括由螺栓(14)连接的内层(201)及外层(202),内层(201)与外层(202)在圆周连接处设有冷却腔(23),所述内层(201)在圆周处设有外圈及内圈(21),所述外圈及内圈(21)之间设有放置槽,外圈靠近放置槽一侧装有密封圈(4),其特征在于,外圈另一侧且靠近密封圈(4)处设有卡槽(22),内层(201)与外层(202)在端面连接处设有回水腔(231),所述回水腔(231)与冷却腔(23)连通,冷却腔(23)处设有进水口(12),回水腔(231)处设有出水口(13),所述外层(202)的端盖中间设有圆柱(25),所述端盖上绕圆柱(25)还设有多个支撑杆(24),所述支撑杆(24)活动连接支撑爪(6),支撑爪(6)的一端卡接于卡槽(22),另一端活动链接块(81),所述块(81)设于圆管(8)上,所述圆管(8)套设在圆杆(7)上,所述圆杆(7)的一端与圆柱(25)螺纹连接,另一端设有方形块(72)。
2.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述卡槽(22)内设有软胶垫(5)。
3.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述支撑爪(6)卡接于卡槽(22)的一端设有凸起(61),另一端设有沉孔(62),块(81)位于沉孔(62)内。
4.根据权利要求3所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述沉孔(62)内装有弹簧(9),所述弹簧(9)靠近沉孔(62)孔口的一端连接块(81)。
5.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述支撑爪(6)上在与支撑杆(24)连接处设有方形槽,方形槽的长度大于支撑杆(24)的宽度。
6.根据权利要求5所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述支撑杆(24)的端部设有通孔并位于方形槽内,销穿过通孔及方形槽连接支撑爪(6)。
7.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述外圈及内圈(21)之间放置槽的槽宽与石英管(1)的厚度匹配,槽宽大于石英管(1)的厚度。
8.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述圆柱(25)中心凹槽的底部设有贯通的小孔。
9.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述内圈(21)上设有多个插槽,靠近石英管(1)处插入隔热板(3),靠近炉门(2)处插入导热板(11)。
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