[发明专利]一种减压扩散炉炉口的密封装置有效

专利信息
申请号: 201710259508.7 申请日: 2017-04-20
公开(公告)号: CN107090594B 公开(公告)日: 2019-03-15
发明(设计)人: 吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋 申请(专利权)人: 通威太阳能(合肥)有限公司
主分类号: C30B31/06 分类号: C30B31/06;H01L21/223;H01L31/18
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 张玺
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 内层 回水腔 冷却腔 炉门 减压 扩散炉 支撑杆 支撑爪 端盖 卡槽 炉口 内圈 圆杆 外圈装有密封圈 太阳能电池板 活动链接 圆柱螺纹 制造设备 出水口 端面处 方形块 放置槽 进水口 密封性 石英管 销连接 圆管套 卡接 炉内 圆管 连通
【权利要求书】:

1.一种减压扩散炉炉口的密封装置,包括石英管(1)及炉门(2),所述炉门(2)包括由螺栓(14)连接的内层(201)及外层(202),内层(201)与外层(202)在圆周连接处设有冷却腔(23),所述内层(201)在圆周处设有外圈及内圈(21),所述外圈及内圈(21)之间设有放置槽,外圈靠近放置槽一侧装有密封圈(4),其特征在于,外圈另一侧且靠近密封圈(4)处设有卡槽(22),内层(201)与外层(202)在端面连接处设有回水腔(231),所述回水腔(231)与冷却腔(23)连通,冷却腔(23)处设有进水口(12),回水腔(231)处设有出水口(13),所述外层(202)的端盖中间设有圆柱(25),所述端盖上绕圆柱(25)还设有多个支撑杆(24),所述支撑杆(24)活动连接支撑爪(6),支撑爪(6)的一端卡接于卡槽(22),另一端活动链接块(81),所述块(81)设于圆管(8)上,所述圆管(8)套设在圆杆(7)上,所述圆杆(7)的一端与圆柱(25)螺纹连接,另一端设有方形块(72)。

2.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述卡槽(22)内设有软胶垫(5)。

3.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述支撑爪(6)卡接于卡槽(22)的一端设有凸起(61),另一端设有沉孔(62),块(81)位于沉孔(62)内。

4.根据权利要求3所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述沉孔(62)内装有弹簧(9),所述弹簧(9)靠近沉孔(62)孔口的一端连接块(81)。

5.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述支撑爪(6)上在与支撑杆(24)连接处设有方形槽,方形槽的长度大于支撑杆(24)的宽度。

6.根据权利要求5所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述支撑杆(24)的端部设有通孔并位于方形槽内,销穿过通孔及方形槽连接支撑爪(6)。

7.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述外圈及内圈(21)之间放置槽的槽宽与石英管(1)的厚度匹配,槽宽大于石英管(1)的厚度。

8.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述圆柱(25)中心凹槽的底部设有贯通的小孔。

9.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置,其特征在于:所述内圈(21)上设有多个插槽,靠近石英管(1)处插入隔热板(3),靠近炉门(2)处插入导热板(11)。

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