[发明专利]一种减压扩散炉炉口的密封装置

说明书

本发明涉及太阳能电池板制造设备技术领域，尤其为一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管及炉门，炉门包括内层及外层，内层与外层间设有冷却腔，内层设有外圈及内圈，外圈及内圈之间设有放置槽，外圈装有密封圈，外圈另一侧设有卡槽，内层与外层在端面处设有回水腔，回水腔与冷却腔连通，冷却腔处设有进水口，回水腔处设有出水口，外层的端盖设有圆柱，端盖上还设有多个支撑杆，支撑杆通过销连接支撑爪，支撑爪的一端卡接于卡槽，另一端活动链接块，所述块设于圆管上，所述圆管套设在圆杆上，所述圆杆的一端与圆柱螺纹连接，另一端设有方形块。加强炉门的密封性及炉内温度平稳。

技术领域

本发明涉及太阳能电池板制造设备技术领域，具体为一种减压扩散炉炉口的密封装置。

背景技术

在光伏行业中，高温扩散炉主要用于对硅片进行掺杂形成PN结。随着对太阳能电池片质量的要求越来越高，传统的常压高温扩散炉的掺杂均匀性已经无法满足电池片的质量要求，因此低压扩散炉应运而生，然而低压扩散工艺需要在低于常压的环境下进行，炉门的密封性能直接影响生产质量。

现有技术中的炉门密封装置，多数都是靠炉门密封圈与石英炉的挤压，依靠密封圈的自身变形达到密封的目的，无法达到密封要求，因此加强炉门的密封性非常必要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种减压扩散炉炉口的密封装置，以解决上述背景技术中提出的问题。所述减压扩散炉炉口的密封装置具有增强炉门密封性的特点。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管及炉门，所述炉门包括由螺栓连接的内层及外层，内层与外层在圆周连接处设有冷却腔，所述内层在圆周处设有外圈及内圈，所述外圈及内圈之间设有放置槽，外圈靠近放置槽一侧装有密封圈，外圈另一侧且靠近密封圈处设有卡槽，内层与外层在端面连接处设有回水腔，所述回水腔与冷却腔连通，冷却腔处设有进水口，回水腔处设有出水口，所述外层的端盖中间设有圆柱，所述端盖上绕圆柱还设有多个支撑杆，所述支撑杆活动连接支撑爪，支撑爪的一端卡接于卡槽，另一端活动链接块，所述块设于圆管上，所述圆管套设在圆杆上，所述圆杆的一端与圆柱螺纹连接，另一端设有方形块。

优选的，所述卡槽内设有软胶垫。

优选的，所述支撑爪卡接于卡槽的一端设有凸起，另一端设有沉孔，块位于沉孔内。

优选的，所述沉孔内装有弹簧，所述弹簧靠近沉孔孔口的一端连接块。

优选的，所述支撑爪上在与支撑杆连接处设有方形槽，方形槽的长度大于支撑杆的宽度。

优选的，所述支撑杆的端部设有通孔并位于方形槽内，销穿过通孔及方形槽连接支撑爪。

优选的，所述外圈及内圈之间放置槽的槽宽与石英管的厚度匹配，槽宽大于石英管的厚度。

优选的，所述圆柱中心凹槽的底部设有贯通的小孔。

优选的，所述内圈上设有多个插槽，靠近石英管处插入隔热板，靠近炉门处插入导热板。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本石英管放入放置槽并紧贴密封圈，向外旋出圆杆，支撑爪抓住在炉门外圈的卡槽内，并压紧卡槽；卡槽靠近密封圈，支撑爪压紧卡槽后，使密封圈进一步压紧，加强炉门的密封性，避免在负压状态下，外接污染源进入石英管内，影响电池片的扩散质量；另一方面冷却腔冷却后的水进入回水腔，提高炉门端盖的温度，缩小炉门与石英管之间的温差，保证石英管内部的热平衡。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明支撑爪打开示意图；

图3为本发明炉门侧视图；

图4为本发明A-A剖视图。