[发明专利]成膜方法及成膜装置

权利要求书

1.一种成膜方法，是通过对工件的一部分进行成膜的成膜装置进行的成膜方法，其中，

所述成膜装置具备：

成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具具有第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，且在所述第一凹陷部的底部具备排气口，所述第二模具与所述第一模具对向而配置；

密封部件，配置于所述第一模具的所述第一平面部与所述第二模具之间，在所述成膜容器关闭的状态下保持所述成膜容器内的气密；

排气装置，连接于所述排气口，能够对所述成膜容器内进行排气；及

开闭装置，开闭所述成膜容器，

所述工件从所述第一平面部分离，且所述工件的成膜对象部分在所述成膜容器关闭的状态下朝向所述第一凹陷部内的空间，

所述成膜方法具备：

工序(a)，通过所述成膜装置对所述工件的一部分进行成膜；

工序(b)，在所述工序(a)之后，通过所述开闭装置使所述第一模具相对于所述工件相对地向分离的方向移动，从而将所述成膜容器内的压力被调整成比所述成膜容器外的压力低的所述成膜容器打开；及

工序(c)，在所述工序(b)开始时，通过所述排气装置经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，

所述第一凹陷部在所述排气口与所述第一平面部之间的至少一部分具有朝向所述成膜对象部分侧的倾斜面。

3.根据权利要求1或2所述的成膜方法，

所述第一模具配置于所述工件的下方。

4.根据权利要求1或2所述的成膜方法，

所述成膜装置具备气流形成部，该气流形成部在所述成膜容器外形成从所述第一模具侧朝向所述第二模具侧或者从所述第二模具侧朝向所述第一模具侧的气流，

在所述工序(c)中，在所述工序(b)开始时，通过所述排气装置经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气，并且通过所述气流形成部在所述成膜容器外形成所述气流。

5.根据权利要求3所述的成膜方法，

所述成膜装置具备气流形成部，该气流形成部在所述成膜容器外形成从所述第一模具侧朝向所述第二模具侧或者从所述第二模具侧朝向所述第一模具侧的气流，

在所述工序(c)中，在所述工序(b)开始时，通过所述排气装置经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气，并且通过所述气流形成部在所述成膜容器外形成所述气流。

6.一种成膜装置，对工件的一部分进行成膜，其中，具备：

成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具具有第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，且在所述第一凹陷部的底部具备排气口，所述第二模具与所述第一模具对向而配置；

密封部件，配置于所述第一模具的所述第一平面部与所述第二模具之间，在所述成膜容器关闭的状态下保持所述成膜容器内的气密；

排气装置，能够经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气；

开闭装置，开闭所述成膜容器；及

控制部，

所述工件从所述第一平面部分离，且所述工件的成膜对象部分在所述成膜容器关闭的状态下朝向所述第一凹陷部内的空间，

在对所述工件的一部分进行了成膜之后，将所述成膜容器内的压力调整成比所述成膜容器外的压力低，之后，所述控制部控制所述开闭装置而使所述第一模具相对于所述工件相对地向分离的方向移动以将所述成膜容器打开，

在将所述成膜容器打开时，所述控制部控制所述排气装置而经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，

所述第一凹陷部在所述排气口与所述第一平面部之间的至少一部分具有朝向所述成膜对象部分侧的倾斜面。

8.根据权利要求6或7所述的成膜装置，

所述第一模具配置于所述工件的下方。