[发明专利]成膜方法及成膜装置

说明书

本发明提供成膜方法及成膜装置。成膜装置具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具具有第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部，且在第一凹陷部的底部具备排气口，所述第二模具与第一模具对向而配置；密封部件，配置于第一模具的第一平面部与第二模具之间，保持成膜容器内的气密；及排气装置，连接于排气口，工件从第一平面部分离，且工件的成膜对象部分在成膜容器关闭的状态下朝向第一凹陷部内的空间，方法具备：工序(a)，通过成膜装置对工件的一部分进行成膜；工序(b)，在工序(a)之后，将成膜容器打开；及工序(c)，在工序(b)开始时，通过排气装置经由排气口对成膜容器内进行排气。

本申请要求基于2016年4月25日提出的申请号为2016-086812的日本专利申请的优先权，通过参照而将其公开的全部内容引入本申请。

技术领域

本发明涉及成膜方法及成膜装置。

背景技术

作为对工件进行成膜的装置，在日本特开2009-62579号公报中记载了一种通过上下一分为二的成膜容器夹住工件，使气体填充于成膜容器来进行成膜的装置。

发明内容

发明所要解决的课题

在通过成膜容器夹住工件的情况下，可考虑例如在成膜容器、工件设置密封部件来保持成膜容器内的气密。但是，在成膜结束后成膜容器打开时，出现了由于成膜容器内的气体朝向成膜容器外流动而导致通过成膜产生的成膜容器内的异物附着于密封部件的情况。在这样的情况下，在成膜容器关闭的状态下无法保持成膜容器内的气密，可能会发生成膜不良。因此，希望有一种在成膜容器、工件设置密封部件而进行成膜的情况下能够抑制成膜不良的技术。

用于解决课题的手段

本发明是为了解决上述的课题而做出的，能够作为以下的方案实现。

(1)根据本发明的一方案，提供一种通过对工件的一部分进行成膜的成膜装置进行的成膜方法。在该成膜方法中，所述成膜装置具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具具有第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，且在所述第一凹陷部的底部具备排气口，所述第二模具与所述第一模具对向而配置；密封部件，配置于所述第一模具的所述第一平面部与所述第二模具之间，在所述成膜容器关闭的状态下保持所述成膜容器内的气密；排气装置，连接于所述排气口，能够对所述成膜容器内进行排气；及开闭装置，开闭所述成膜容器，所述工件从所述第一平面部分离，且所述工件的成膜对象部分在所述成膜容器关闭的状态下朝向所述第一凹陷部内的空间，所述成膜方法具备：工序(a)，通过所述成膜装置对所述工件的一部分进行成膜；工序(b)，在所述工序(a)之后，通过所述开闭装置使所述第一模具相对于所述工件相对地向分离的方向移动，将所述成膜容器打开；及工序(c)，在所述工序(b)开始时，通过所述排气装置经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气。根据这样的方案的成膜方法，在成膜容器打开时，经由第一凹陷部的底部的排气口对成膜容器内进行排气，所以在成膜容器打开时，形成从成膜容器的第一平面部侧朝向排气口的气流。通过该气流，成膜容器内的异物从排气口排出，所以能够抑制异物向密封部件附着。因此，在成膜容器关闭的状态下能够保持成膜容器内的气密，所以能够抑制成膜不良。

(2)在上述方案的成膜方法中，可以是，所述第一凹陷部在所述排气口与所述第一平面部之间的至少一部分具有朝向所述成膜对象部分侧的倾斜面。根据这样的方案的成膜方法，第一凹陷部内的体积与不具有倾斜面的情况相比较小，所以能够增强从第一平面部侧朝向排气口的气流，能够进一步抑制异物向密封部件附着。因此，能够进一步抑制成膜不良。

(3)在上述方案的成膜方法中，可以是，所述第一模具配置于所述工件的下方。根据这样的方案的成膜方法，虽然在成膜容器的下方容易堆积异物，但在成膜容器打开时，在配置于工件的下方的第一模具中产生从第一平面部侧朝向排气口的气流。因此，在容易堆积异物的配置于下方的模具中，异物从排气口排出，所以能够进一步排出成膜容器内的异物，能够进一步抑制异物向密封部件附着。因此，能够进一步抑制成膜不良。