[发明专利]薄膜剥离装置

权利要求书

1.一种薄膜剥离装置，具有对基板进行输送的基板输送构件，所述薄膜剥离装置对粘附在由该基板输送构件输送的基板的两面上的薄膜进行剥离，其特征在于，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜。

2.根据权利要求1所述的薄膜剥离装置，其特征在于，

使所述基板保持机构在其与基板的顶端接触的部分设置倾斜角度。