[发明专利]薄膜剥离装置

说明书

技术领域

本发明涉及对贴附于基板的薄膜进行剥离的薄膜装置。

背景技术

以往，作为用于对贴附于基板的薄膜进行剥离的手段，如专利文献1所记载的那样，有如下方法：在将剥离用粘接带按压于贴附有薄膜的基板的表面的状态下，在用压接辊夹住基板的状态下，使基板在输送路径上向下游侧移动，由此将薄膜卷起，并使利用夹紧部对该部分进行把持的薄膜把持输送机构一边向输送方向移动一边进行剥离。

另外，如专利文献2所记载的那样，有如下方法：利用夹紧部把持基板的顶端部，在按压剥离用粘接带的状态下使其在输送路径上向下游侧移动而将薄膜卷起，并使用利用夹紧部对该抬起的薄膜进行把持的薄膜把持输送机构，使其一边向输送方向移动一边进行剥离。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4779132号公报

专利文献2：日本专利第4231018号公报

不过，在专利文献1及2所记载的方法中，在将贴附于基板的两面的薄膜从基板分离时，需要夹紧基板的顶端部。

因此，要剥离贴附于基板的薄膜，需要将薄膜的贴附位置与基板顶端空出间隔地贴附薄膜而设置基板夹紧余量，贴附至基板的顶端的薄膜无法进行剥离。

另外，若不夹紧基板的顶端部而进行剥离动作，则基板有时会上下弯折而破损。

发明内容

本发明是鉴于上述以往的薄膜剥离装置所具有的问题而作出的，其目的在于提供一种薄膜剥离装置，该薄膜剥离装置防止在一边从基板剥离贴附至基板的顶端的薄膜一边进行输送的阶段之前所产生的基板的变形等，并且不会对基板造成损伤，不会损害基板的质量。

为了达成上述目的，本发明的薄膜剥离装置具有对基板进行输送的基板输送构件，所述薄膜剥离装置对粘附在由该基板输送构件输送的基板的两面上的薄膜进行剥离，其特征在于，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜。

在该情况下，能够使所述基板保持机构在其与基板的顶端接触的部分设置倾斜角度。

根据本发明的薄膜剥离装置，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜，由此能够防止在剥离薄膜时、在夹紧基板时所产生的基板的振动、变形，并且能够不在薄膜的贴附位置设限制地进行剥离，防止在一边从基板剥离贴附至基板的顶端的薄膜一边进行输送的阶段之前所产生的基板的变形等，不会对基板造成损伤，并能够防止损害基板的质量。

另外，通过使所述基板保持机构在其与基板的顶端接触的部分设置倾斜角度，能够利用线接触可靠地保持基板的顶端。

附图说明

图1是表示本发明的薄膜剥离装置的概略构造的俯视图。

图2是表示本发明的薄膜剥离装置的一实施方式的概略构造的主视图。

图3是表示图2的实施方式中的基板保持机构以及剥离部的构造的放大主视图。

图4是表示图2的实施方式中的基板保持机构以及剥离部的构造的局部立体图。

图5是表示图2的实施方式中的基板保持机构的一实施方式的局部立体图。

附图标记说明

1 基板输送辊

2 基板

2a 抗蚀膜

2b 薄膜

3 回收容器

4 压接辊

11 气缸

30 粘接剥离机构

31 气缸

32 板状按压件

40 基板保持机构

41 夹紧件

42 气缸

43 块

50 薄膜剥离输送机构

52 薄膜保持件

53 气缸

54 气缸

55 薄膜输送部驱动机构

100 薄膜剥离装置