[发明专利]一种多腔室外延炉系统及其气压调节方法

权利要求书

1.一种多腔室外延炉系统，其特征在于，包括：

若干个反应室，每个所述反应室设有排气道和第一气压传感器；

主气道，所述主气道设有第二气压传感器，所述主气道通过所述排气道与各个所述反应室相连通；

H₂气体缓冲罐，所述H₂气体缓冲罐设有第一输入气道和第一控制开关，所述H₂气体缓冲罐通过所述第一输入气道与所述主气道相连通，所述第一控制开关控制所述第一输入气道的打开或者关闭；

真空气体缓冲罐，所述真空气体缓冲罐设有第二输入气道和第二控制开关，所述真空气体缓冲罐通过所述第二输入气道与所述主气道相连通，所述第二控制开关控制所述第二输入气道的打开或者关闭；

湿式洗涤机，所述湿式洗涤机设有排风涡轮和控制器，所述控制器与所述排风涡轮相连接；

输出气道，所述主气道与所述湿式洗涤机通过所述输出气道相连通；

FDC系统，所述第一传感器、所述第二传感器、所述第一控制开关、所述第二控制开关和所述控制器均与所述FDC系统连接。

2.如权利要求1所述的一种多腔室外延炉系统，其特征在于，所述反应室数量大于或者等于两个。

3.如权利要求1所述的一种多腔室外延炉系统，其特征在于，所述H₂气体缓冲罐中的H₂气体压强大于或者等于一个标准大气压。

4.如权利要求1所述的一种多腔室外延炉系统，其特征在于，还包括抽气涡轮和废气处理室，所述抽气涡轮一端与所述真空气体缓冲罐相连通，另一端与所述废气处理室相连通。

5.如权利要求1所述的一种多腔室外延炉系统，其特征在于，所述第一控制开关和所述第二控制开关为常闭开关。

6.如权利要求1所述的一种多腔室外延炉系统，其特征在于，所述主气道的直径大于所述排气道、第一输入气道、所述第二输入气道和所述输出气道的直径。

7.如权利要求1所述的一种多腔室外延炉系统，其特征在于，所述主气道内的气压值为－3torr。

8.如权利要求1所述的，其特征在于一种多腔室外延炉系统，所述湿式洗涤机的排风涡轮为变频涡轮。

9.一种利用如权利要求1-8任一项所述的多腔室外延炉系统进行气压调节的方法，其特征在于，包括：

S1：所述第一气压传感器实时检测各个所述反应室内的气压，将信号反馈给所述FDC系统；

S2：所述第二气压传感器实时检测所述主气道内的气压，并将信号反馈给所述FDC系统；

S3：当所述主气道内的气压值不等于－3torr且在±0.5torr范围内波动时，所述FDC系统控制所述控制器调节湿式洗涤机排风涡轮的输出功率，使所述主气道内的气压值等于－3torr；

S4：当所述主气道内的气压值小于－3.5torr时，所述FDC系统控制所述第一控制开关打开，所述H₂气体缓冲罐中的H₂充入所述主气道，进而增大所述主气道内的气压，使所述主气道内的气压值大于－3.5torr，然后所述FDC系统控制所述第一控制开关关闭，启动步骤S3；

S5：当所述主气道内的气压值大于－2.5torr时，所述FDC系统控制所述第二控制开关打开，所述主气道内的气体充入所述真空气体缓冲罐，进而减少所述主气道内的气压，使所述主气道内的气压值小于－2.5torr，然后所述FDC系统控制所述第二控制开关关闭，启动步骤S3。

10.根据权利要求9所述的气压调节方法，其特征在于，还包括S6：当所述主气道内的气压值波动，且无法经过步骤S3、S4和S5使所述主气道内的气压值等于－3torr时，根据所述S1中反馈的各个所述反应室内的气压值，停机关掉气压值波动超过－3±0.5torr的对应的反应室，然后启动S3。