[发明专利]一种半导体盖板贴合机在审
申请号: | 201710296897.0 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN106971968A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 刘飞;杨志强 | 申请(专利权)人: | 东莞市安达自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司44215 | 代理人: | 张明 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 盖板 贴合 | ||
技术领域
本发明涉及自动化组装设备的技术领域,尤其是指一种半导体盖板贴合机。
背景技术
随着智能手机的发展,指纹识别模块成了智能手机基本配置之一。金属壳/金属环与盖板的贴合是指纹识别模块生产的重要一个环节。由于金属壳/金属环、盖板为比较小的工件,手工作业在贴合过程中,不仅贴合效率低,而且贴合的误差大、贴合后外观无法标准统一。
现有的玻璃盖板与指纹识别半导体贴合的相关自动化设备,对于盖板的上料机构普遍存在需要的运动过程空间比较大、或上料与收料以及工件的传送效率低、运动结构及控制结构复杂等问题,具体还存在贴合精度不高和贴合工序不完善等问题。
发明内容
本发明针对现有技术的问题提供本发明针对现有技术的问题提供一种占用空间小、上料与收料简单快捷、盖板与半导体贴合精度高和效率高的一种半导体盖板贴合机。
为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
本发明提供的一种半导体盖板贴合机,包括工作平台、盖板载盘和半导体载盘,所述工作平台设有盖板送料机构、转盘吸取机构、清洗装置、加热装置和半导体送料机构,所述盖板送料机构和半导体送料机构分别位于转盘吸取机构的两侧,所述转盘吸取机构吸取盖板依次经过清洗装置和加热装置后将盖板贴合于半导体上。
其中的,所述半导体送料机构包括用于接收半导体载盘的接料平台、第一送料装置、用于驱动第一送料装置分别沿X轴和Y轴位移的第一XY轴驱动机构以及位于接料平台和第一送料装置上方的搬运机械手,所述第一送料装置包括送料平台、用于驱动送料平台升降的升降驱动机构及用于驱动送料平台转动的转动驱动机构。
作为优选的,所述升降驱动机构包括升降板、与升降板连接的若干个第一丝杆螺母及与第一丝杆螺母配合的第一丝杆、与第一丝杠连接的皮带轮、绕设于皮带轮的传动皮带及用于驱动传动皮带运动的升降驱动电机,所述升降驱动电机和第一丝杆均与送料平台连接。
作为优选的,所述转动驱动机构包括与第一XY轴驱动机构连接的固定座、连接于固定座的转动轴、连接于固定座一侧的第一转动驱动电机和连接于固定座相对于第一转动驱动电机另一侧的第二丝杠、以及与第二丝杠配合的第二丝杠螺母;所述转动轴与升降板连接,所述升降板与第二丝杠螺母之间设有转动偏差补偿装置。
作为优选的,所述转动偏差补偿装置包括与所述第二丝杠螺母连接的固定块、与固定块连接的滑块、与滑块配合的滑轨和与滑轨连接的凸块,所述凸块的底部与滑轨连接,所述凸块的顶部与升降板连接。
其中的,所述盖板送料机构包括用于承放盖板载盘的承放平台、第二送料装置以及用于驱动第二送料装置分别沿X轴和Y轴位移的第二XY轴驱动机构;所述承放平台分别设有镂空的上料位和收料位,所述上料位镂空的两侧设有用于卡紧盖板载盘的卡块及用于驱动卡块滑动的驱动气缸,所述卡块设有用于支撑盖板载盘的凸边;所述收料位的镂空边缘设有斜面凸块。
其中的,所述转盘吸取机构包括设于盖板送料机构和半导体传送机构之间的龙门支架、与龙门支架连接的转盘、分别设于龙门支架两侧的吸料推动装置和贴合推动装置及用于驱动转盘转动的第二转动驱动电机,所述转盘上圆周排列设于转盘的多个真空吸头,所述料推动装置和贴合推动装置位于真空吸头的上方。
作为优选的,所述真空吸头包括吸头主体、真空通入块、真空吸杆、第一复位元件和限位装置;所述吸头主体设有第一容纳腔、第二容纳腔和与第二容纳腔连通的排气孔;所述真空通入块滑动设于第一容纳腔内,所述真空通入块设有通气孔;所述真空吸杆滑动设于真空通入块内并贯穿于吸头主体,所述真空吸杆设有真空吸孔,所述真空吸杆的底端连接有吸嘴;所述限位装置设于吸头主体的顶端,用以限定所述真空吸孔与所述通气孔相通;所述第一复位元件设于第二容纳腔内并与真空吸杆连接。
作为优选的,所述接料平台和送料平台均设有发热板。
其中的,所述工作平台还设有用于对盖板定位的盖板定位装置和用于对半导体的半导体定位装置,所述盖板定位装置设于清洗装置与加热装置之间,所述半导体定位装置设于贴合推动装置的前方。
本发明的有益效果:
本发明提供的一种半导体盖板贴合机,其通过可以多轴联动的盖板和半导体的送料机构来实现在较小空间内完成上料和收料的工序,还通过转盘吸取机构可以实现不间断地吸料和放料,并且在放料的同时也完成了贴合动作,大大提高了生产效率。本发明进一步提高了该贴合工序的稳定性、生产效率和精确度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造