[发明专利]一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件

权利要求书

1.一种面光源，其特征在于：包括有安装板，所述安装板上设置有若干条状光源，所述条状光源包括支撑架，所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜，每一个光源单元与一个光学透镜配合，所述光源单元发出的光线经光学透镜后，形成光斑单元，各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑，所述条状光源并排设置，使各个条状光源形成的条状光斑在一平面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一面状光斑，所述面光源至少存在有一条移动轨迹，以及存在至少一个曝光行程，所述面状光斑照射的区域中存在有至少一个有效曝光区域，当所述面光源在所述移动轨迹上移动一个所述曝光行程时，待曝光区域始终处于有效曝光区域内，并且，在实际使用过程中，有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量进行积分，所述有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量积分差值小于10%，当所述光斑单元的形状为正方形或者长方形时，所述移动轨迹与所述光斑单元的对角线方向相平行，所述曝光行程等于或者大于一个光斑单元的对角线长度；

相邻所述光源单元之间的距离相同，相邻所述光源单元光轴之间的距离为L，当各个光源单元形成的光斑单元之间为间隙配合时，相邻光斑单元之间的距离小于0.1L，还包括有基板和冷却部件，所述光源单元设置在所述基板上，所述基板设置在所述冷却部件上，所述支撑架与所述冷却部件连接，所述支撑架还包括有挤压部，所述挤压部环绕于所述光源单元外围，并将所述基板压紧在所述冷却部件上。

2.根据权利要求1所述的面光源，其特征在于：所述面光源的面状光斑的外围边缘环绕于待曝光区域边缘的外围，使待曝光区域完全被所述面状光斑覆盖。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的面光源，其特征在于：所述光源单元的规格和型号相同，所述光学透镜的尺寸和材质相同。

4.根据权利要求1-2任意一项所述的面光源，其特征在于：相邻条状光源之间的距离相等。

5.根据权利要求1-2任意一项所述的面光源，其特征在于：所有光源单元为均布设置。

6.根据权利要求1-2任意一项所述的面光源，其特征在于：所述光斑单元的形状为长方形、正方形、正六边形或与长方形相近似的类长方形形状、或与正方形相近似的类正方形形状、或与正六边形相近似的类正六边形形状。

7.根据权利要求1-2任意一项所述的面光源，其特征在于：相邻条状光源的光源单元之间错开布置，使条状光斑的光斑单元配合部位与相邻条状光斑的光斑单元配合部位错开。

8.根据权利要求1所述的面光源，其特征在于：所述支撑架上还连接有用于压紧所述光学透镜的压紧件，所述光学透镜底部设置有翼缘，所述压紧件环绕于每一个光学透镜的外围，并压在所述翼缘上，将所述光学透镜固定在所述支撑架上。

9.根据权利要求8所述的面光源，其特征在于：相邻光学透镜之间对应的所述压紧件上都设置有用于紧固所述压紧件与支撑架相对位置的紧固件。

10.根据权利要求8-9任意一项所述的面光源，其特征在于：所述光源单元为波长从200纳米到420纳米的紫外LED光源。

11.一种曝光部件，其特征在于：包括权利要求1-10任意一项所述的面光源和驱动部件，所述驱动部件用于驱动所述面光源沿所述移动轨迹移动。