[发明专利]一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件

说明书

本发明涉及紫外光应用技术领域，具体涉及一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件，条状光源，包括支撑架，所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜，每一个光源单元与一个光学透镜配合，所述光源单元发出的光线经光学透镜后，形成光斑单元，各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。本申请的条状光源，形成光斑单元光线的光束角较小，光斑具有较高的有效辐照强度，在需要得到大面积光斑时，将多个本申请的条状光源进行拼接即可，拼装过程简单方便，而且，在某个条状光源故障时，也方便更换。

技术领域

本发明涉及紫外光应用技术领域，具体涉及一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件。

背景技术

在紫外光应用技术领域中，光刻微细加工在各行业中应用越来越广泛，为了提高生产效率，人们希望曝光光源有高的有效辐照强度和良好的均匀性，以及有大的有效光斑面积。但是，对于曝光光源而言，增加有效光斑面积与增加有效辐照强度是相互矛盾的。

为了实现有效辐照强度和有效光斑面积的同时提高，目前的方式是采用多个光源拼接成光源条，在曝光面上形成一条带状的照射光斑，曝光过程中，通过移动光源条，使带状的照射光斑扫过待曝光面，进而实现较大面积的曝光。

在进一步的设计工作中，发明人发现，上述这种采用光源条进行扫描的方式还存在有不足，具体在于：由于光源呈条状布置，为了具有较宽的照射光斑，所以，光束角通常都较大，曝光面的有效辐照强度不高，而且整个曝光过程移动行程较大，部件移动部件结构复杂，还不便于光源移动的精确控制。

发明内容

本发明的目的在于：针对目前紫外曝光技术领域中，存在的上述不足，提供一种光束角较小、有效辐照强度高的光源结构。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种条状光源，包括支撑架，所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜，每一个光源单元与一个光学透镜配合，所述光源单元发出的光线经光学透镜后，形成光斑单元，各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。

本申请的条状光源，通过在支撑架上设置若干光源单元，并且每个光源单元都与一个光学透镜相配合，使得光源单元发出的光线先被光学透镜调整后再照射在曝光面上形成光斑单元，所以，各个光源单元的光斑单元以部分重叠的方式、相互拼接或者在相邻光斑单元之间存在微小间隙的方式，形成长条状的光斑，如此使得，形成光斑单元光线的光束角较小，光斑具有较高的有效辐照强度，在需要得到大面积光斑时，将多个本申请的条状光源进行拼接即可，拼装过程简单方便，而且，在某个条状光源故障时，也方便更换。

优选的，相邻所述光源单元之间的距离相同，相邻所述光源单元光轴之间的距离为L，当各个光源单元形成的光斑单元之间为间隙配合时，相邻光斑单元之间的距离小于0.1L。

优选的，所述支撑架上还连接有用于压紧所述光学透镜的压紧件，所述光学透镜底部设置有翼缘，所述压紧件环绕于每一个光学透镜的外围，并压在所述翼缘上，将所述光学透镜固定在所述支撑架上。

通过设置压紧件，保证光学透镜安装的可靠性，进而保证在使用过程中，形成光斑单元的稳定性，避免因透镜移位而导致光斑单元出现变形的情况。

优选的，相邻光学透镜之间对应的所述压紧件上都设置有用于紧固所述压紧件与支撑架相对位置的紧固件。通过在相邻光学透镜之间设置固定件，即，每个光学透镜两侧都存在有固定件固定，进一步的保证光学透镜安装的可靠性。

优选的，所述紧固件为螺钉。

优选的，所述条状光源还包括有基板和冷却部件，所述光源单元设置在所述基板上，所述基板设置在所述冷却部件上。在本申请中，由于存在多个光源单元，所以，通过设置冷却部件，对各个光源单元进行冷却，进一步的提高本申请条状光源使用的可靠性。