[发明专利]一种油溶性复合缓蚀剂有效
| 申请号： | 201710301860.2 | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN107190264B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 黄准 | 申请（专利权）人： | 南京万象新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23F11/10 | 分类号： | C23F11/10 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 吴频梅 |
| 地址： | 210033 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 油溶性 复合 缓蚀剂 | ||
1.一种油溶性复合缓蚀剂，其特征在于由以下组分及含量组成：
20～40wt％羧酸胺盐，所述羧酸胺盐为选自植物油酸、动物油酸及环烷酸分别和叔烷基伯胺制备而成羧酸胺盐中的两种或两种以上以任意比例组成的混合物；
5～20wt％磺酸胺盐，所述磺酸胺盐为选自重烷基苯磺酸、壬基酚磺酸及石油磺酸分别和叔烷基伯胺制备而成磺酸胺盐中的两种或两种以上以任意比例组成的混合物；
15～40wt％有机胺；
20～40wt％有机溶剂；
所述各组分的含量为各组分重量占缓蚀剂总重量的重量百分数。
2.根据权利要求1所述的油溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述油溶性复合缓蚀剂含有20～30wt％羧酸胺盐、10～20wt％磺酸胺盐、20～30wt％有机胺和30～40wt％有机溶剂。
3.根据权利要求1所述的油溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述有机胺选自吗啉、甲基吗啉、环己胺中的两种或两种以上以任意比例组成的混合物。
4.根据权利要求1至3任一项所述的油溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述有机溶剂选自重芳烃溶剂、二甲基甲酰胺、丙二醇中的两种或两种以上以任意比例组成的混合物。
5.根据权利要求1所述的油溶性复合缓蚀剂，其特征在于，
20～40wt％羧酸胺盐，所述羧酸胺盐为植物油酸、动物油酸及环烷酸分别和叔烷基伯胺制备而成羧酸胺盐的混合物；
5～20wt％磺酸胺盐，所述磺酸胺盐为重烷基苯磺酸、壬基酚磺酸及石油磺酸分别和叔烷基伯胺制备而成磺酸胺盐的混合物；
15～40wt％有机胺；所述有机胺为吗啉和乙基吗啉的混合物；
20～40wt％有机溶剂；所述有机胺为重芳烃溶剂和丙二醇的混合物。
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