[发明专利]基板清洗设备在审
| 申请号： | 201710305258.6 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107159602A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李嘉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 | ||
1.一种基板清洗设备，其特征在于，包括：中空的承载杆(10)、设于承载杆(10)外表面上的毛刷(40)、与承载杆(10)一端连接的驱动装置(20)、及与承载杆(10)另一端旋转连接的进液管(30)；所述承载杆(10)上设有多个出水口(11)；
所述进液管(30)用于向承载杆(10)内部通入清洗液体；
所述出水口(11)用于将承载杆(10)内的清洗液体从承载杆(10)内部喷出至承载杆(10)外部，从而润湿毛刷(40)并对毛刷(40)进行清洗。
2.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，还包括设于承载杆(10)上的轴承(50)。
3.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述承载杆(10)的材料为金属或塑料。
4.如权利要求3所述的基板清洗设备，其特征在于，所述承载杆(10)的材料为304不锈钢、316不锈钢、聚丙烯、超高分子聚乙烯、或聚氯乙烯。
5.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述驱动装置(20)为电动机；
所述毛刷(40)通过粘贴的方式设于承载杆(10)的外表面。
6.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述清洗液体为去离子水、超纯水、洗涤剂、或三羟甲基氨基甲烷。
7.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述出水口(11)为线状出水口。
8.如权利要求7所述的基板清洗设备，其特征在于，所述线状出水口的形状为环状、波浪状、锯齿状、或斜线状；
所述线状出水口的宽度为0.01mm-15mm。
9.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述出水口(11)为孔状出水口。
10.如权利要求9所述的基板清洗设备，其特征在于，所述孔状出水口的孔径为0.01mm-15mm。
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