[发明专利]一种分选机的工作台组件有效
申请号: | 201710309999.1 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN107134425B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 郝云保;刘亚奇;潘峰 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分选 工作台 组件 | ||
1.一种分选机的工作台组件,其特征在于,包括:
托盘底板;
挡板,所述挡板沿所述托盘底板的周向延伸地设在所述托盘底板的多个侧面且所述托盘底板的一个侧面不被所述挡板包覆,所述挡板的至少一部分超出所述托盘底板的上表面以与所述托盘底板的上表面之间限定出配合凹槽;
托盘,所述托盘设在所述配合凹槽内且与所述挡板间隙配合,所述托盘与所述托盘底板可拆卸地相连;
料盒,所述料盒可拆卸地设在所述托盘上;
料盒压块,所述料盒压块可活动地设在所述托盘上以固定和松开所述料盒;
所述托盘底板上设有真空槽,所述托盘上设有与所述真空槽位置相对应的真空孔,所述工作台组件还包括真空吸附装置,所述真空吸附装置与所述真空槽和所述真空孔配合以吸附或松开所述托盘和所述托盘底板。
2.根据权利要求1所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述托盘上设有上锁扣,所述托盘底板上设有下锁扣,所述上锁扣与所述下锁扣可拆卸地相连。
3.根据权利要求2所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述上锁扣和所述下锁扣分别为一个,所述上锁扣设在所述托盘的中心,所述下锁扣设在所述托盘底板的中心。
4.根据权利要求2所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述上锁扣和所述下锁扣分别为多个,多个所述上锁扣以所述托盘的对称轴对称设在所述托盘上,多个所述下锁扣对称设在所述托盘底板上。
5.根据权利要求1或2所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述挡板和所述托盘的外周壁上设有位置相对应的定位孔,所述工作台组件还包括锁紧销,所述锁紧销穿过所述定位孔以定位和锁紧所述托盘。
6.根据权利要求1所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述托盘为磁吸件,所述托盘底板上设有电磁线圈,所述电磁线圈的电路可通断以吸附或松开所述托盘和所述托盘底板。
7.根据权利要求1所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述托盘上设有多个安装凹槽,每个所述安装凹槽的一侧设有至少一个定位销,每个所述安装凹槽的另一侧设有至少一个所述料盒压块,所述料盒为多个且分别通过所述定位销和所述料盒压块安装在对应的所述安装凹槽内。
8.根据权利要求1所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述料盒压块上设有适于卡紧或松开所述料盒的卡扣部,所述料盒压块的顶端设有按压部,所述按压部可按压以通过所述卡扣部卡紧或松开所述料盒,所述按压部的上表面形成为粗糙面。
9.根据权利要求8所述的分选机的工作台组件,其特征在于,所述按压部的自由端设有防滑凸起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造