[发明专利]一种分选机的工作台组件有效
申请号: | 201710309999.1 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN107134425B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 郝云保;刘亚奇;潘峰 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分选 工作台 组件 | ||
本发明提供一种分选机的工作台组件,包括:托盘底板;挡板,所述挡板沿所述托盘底板的周向延伸地设在所述托盘底板的外周且所述托盘底板的外周的一侧外露,所述挡板的至少一部分超出所述托盘底板的上表面以与所述托盘底板的上表面之间限定出配合凹槽;托盘,所述托盘设在所述配合凹槽内且与所述挡板间隙配合,所述托盘与所述托盘底板可拆卸地相连;料盒,所述料盒可拆卸地设在所述托盘上;料盒压块,所述料盒压块可活动地设在所述托盘上以固定和松开所述料盒。本发明的分选机的工作台组件,可以有效提高料盒的更换效率。
技术领域
本发明涉及半导体分选设备领域,更具体地,涉及一种分选机的工作台组件。
背景技术
在半导体行业,分选机会对划切好的晶片按照规格尺寸进行分类,并放在工作台相应的料盒中,随后料盒会被人工取下用无尘纸进行封存。在此当中料盒的更换(安装和拆卸)会非常频繁,并且需要非常谨慎以防晶片的受损。在料盒的更换过程中,经常会出现以下问题影响整个工艺流程:
1.在人工卸下或安装料盒时,需要在机器旁侧进行拆装,这样身体一部分进入机器内部会对人员有一定的潜在威胁,并且由于空间限制,更换效率不会太高,易对料盒和晶片造成损伤;
2.当从工作台卸下料盒时,目前固定料盒的结构经常会磕到料盒,使得料盒震动,料盒里的晶片弹出,这不仅对产品晶片造成极大的损失,还会影响整个工业的流程的顺畅性;
3.相对于整体工艺流程而言,卸料所需时间太多,影响了整体进程。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种分选机的工作台组件。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
本发明提供了一种分选机的工作台组件,包括:
托盘底板;
挡板,所述挡板沿所述托盘底板的周向延伸地设在所述托盘底板的多个侧面且所述托盘底板的一个侧面不被所述挡板包覆,所述挡板的至少一部分超出所述托盘底板的上表面以与所述托盘底板的上表面之间限定出配合凹槽;
托盘,所述托盘设在所述配合凹槽内且与所述挡板间隙配合,所述托盘与所述托盘底板可拆卸地相连;
料盒,所述料盒可拆卸地设在所述托盘上;
料盒压块,所述料盒压块可活动地设在所述托盘上以固定和松开所述料盒。
进一步来说,所述托盘上设有上锁扣,所述托盘底板上设有下锁扣,所述上锁扣与所述下锁扣可拆卸地相连。
进一步来说,所述上锁扣和所述下锁扣分别为一个,所述上锁扣设在所述托盘的中心,所述下锁扣设在所述托盘底板的中心。
进一步来说,所述上锁扣和所述下锁扣分别为多个,多个所述上锁扣对称设在所述托盘上,多个所述下锁扣以所述托盘的对称轴对称设在所述托盘底板上。
进一步来说,所述挡板和所述托盘的外周壁上设有位置相对应的定位孔,所述工作台组件还包括锁紧销,所述锁紧销穿过所述定位孔以定位和锁紧所述托盘。
进一步来说,所述托盘底板上设有真空槽,所述托盘上设有与所述真空槽位置相对应的真空孔,所述工作台组件还包括真空吸附装置,所述真空吸附装置与所述真空槽和所述真空孔配合以吸附或松开所述托盘和所述托盘底板。
进一步来说,所述托盘为磁吸件,所述托盘底板上设有电磁线圈,所述电磁线圈的电路可通断以吸附或松开所述托盘和所述托盘底板。
进一步来说,所述托盘上设有多个安装凹槽,每个所述安装凹槽的一侧设有至少一个定位销,每个所述安装凹槽的另一侧设有至少一个所述料盒压块,所述料盒为多个且分别通过所述定位销和所述料盒压块安装在对应的所述安装凹槽内。
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