[发明专利]观察视镜及多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种观察视镜，其特征在于，包括视镜本体，所述视镜本体包括内管、外管、第一法兰、与所述第一法兰相连的第二法兰、视镜玻璃和清洁刮板，所述外管套设在所述内管外侧；

所述外管的一端抵接在所述第一法兰底部，所述内管的一端设置于所述第一法兰的中心孔内，且所述中心孔的内壁与所述内管的外壁相连；

所述视镜玻璃的内表面与所述内管的一端接触，且所述视镜玻璃的外壁与所述第一法兰的内壁相连，所述视镜玻璃的外表面与所述第二法兰的内侧相连；

所述清洁刮板与所述视镜玻璃的内表面相接触，所述清洁刮板一侧连接有用于带动所述清洁刮板运动的连接件，所述连接件贯穿所述第一法兰的侧壁和所述内管的侧壁。

2.根据权利要求1所述的观察视镜，其特征在于，所述连接件为连接杆或转轴。

3.根据权利要求1所述的观察视镜，其特征在于，所述连接件的内部和所述清洁刮板的内部设置有相互连通的气体通道，所述连接件的外端设有气体通入口，所述清洁刮板与所述视镜玻璃相接触的一端设有气体喷出口。

4.根据权利要求1所述的观察视镜，其特征在于，所述中心孔的内壁上还开设有环形槽，且所述第一法兰上形成有与所述环形槽相连通的气体吹入口，所述内管上形成有与所述环形槽相连通的多个吹扫孔。

5.根据权利要求1-4任一项所述的观察视镜，其特征在于，所述视镜玻璃包括第一视镜玻璃和第二视镜玻璃，所述第一法兰和所述第二法兰之间设有支撑圈，所述第一视镜玻璃和所述第二视镜玻璃主要由所述支撑圈隔开，所述连接件与所述第二视镜玻璃的内表面相连。

6.根据权利要求5所述的观察视镜，其特征在于，所述外管和所述内管间设置有第一冷却介质容纳腔，所述第一视镜玻璃和所述第二视镜玻璃之间设有第二冷却介质容纳腔，所述支撑圈上形成有与所述第二冷却介质容纳腔相连通的第二冷却介质进口和第二冷却介质出口。

7.根据权利要求1所述的观察视镜，其特征在于，所述视镜玻璃上设有水平刻线和垂直刻线。

8.一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括底盘、炉体、设置于所述底盘上的电极、与所述电极相连的硅棒、进气系统、排气系统和权利要求1-7任一项所述的观察视镜，所述视镜本体设置于所述炉体上；

所述炉体、所述进气系统和所述排气系统均与所述底盘相连。

9.根据权利要求8所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述进气系统包括相互连接的进气管和喷嘴，所述喷嘴设置于所述底盘上；

所述喷嘴包括内喷嘴和套设于所述内喷嘴外侧的外喷嘴，所述内喷嘴包括相互连通的内进气腔和主喷气孔，所述主喷气孔的横截面积小于所述内进气腔的横截面积；

所述外喷嘴与所述内喷嘴之间设有相互连通的外进气腔和次喷气孔，所述次喷气孔的横截面积大于或等于所述外进气腔的横截面积。

10.根据权利要求9所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述次喷气孔内设置有导流板，所述导流板连接于所述外喷嘴的内壁和/或所述内喷嘴的外壁上。