[发明专利]观察视镜及多晶硅还原炉

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体而言，涉及一种观察视镜及多晶硅还原炉。

背景技术

硅作为世界上第二丰富的元素，具有一些良好的物理化学性能，随着硅纯度的不断提高，其已成为电子工业和太阳能光伏产业中应用最广泛的一种半导体材料。目前国际上多晶硅的生产方法主要包括改良西门子法、硅烷法、流化床法、冶金法及锌还原法等，其中80％以上采用改良西门子法，该方法将工业硅合成SiHCl₃，经过精馏提纯生成高纯SiHCl₃，一定比例的H₂和高纯SiHCl₃气体在特定压力下通过多晶硅还原炉内，在硅芯上进行气相沉积反应生成棒状多晶硅，多晶硅还原炉排出的尾气H₂、SiHCl₃、SiH₂Cl₂、SiCl₄和HCl经过分离后再循环使用。

多晶硅还原炉作为多晶硅生产的主要设备，一直以来都备受各厂家和相关研究部门的关注。为了更方便的观察炉内反应进展情况、随时掌握反应进程、尽可能避免出现倒棒等情况的出现，在多晶硅还原炉上设置观察视镜，其作用就是能够观察还原炉内硅棒的生成情况，从而通过调整工艺参数，得到品质更高的多晶硅产品。

现有的观察视镜均能起到基本的观察还原炉内硅棒的生成情况，然而，当观察视镜的镜片被污染时容易出现观察不清楚的问题，特别是镜片在还原炉内的一侧被污染时，为了清除镜片上的附着物需要停工将镜片卸下进行清洁，不能在生产过程中随时进行清洁，十分不便，而且影响整个生产过程，效率低下。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种观察视镜，该观察视镜能够在生产过程中随时对视镜玻璃进行清洁，非常方便。

本发明的第二目的在于提供一种多晶硅还原炉，该多晶硅还原炉包括上述观察视镜，能够方便地对视镜玻璃进行清洁，不影响多晶硅的生产，效率高。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种观察视镜，包括视镜本体，所述视镜本体包括内管、外管、第一法兰、与所述第一法兰相连的第二法兰、视镜玻璃和清洁刮板，所述外管套设在所述内管外侧；

所述外管的一端抵接在所述第一法兰底部，所述内管的一端设置于所述第一法兰的中心孔内，且所述中心孔的内壁与所述内管的外壁相连；

所述视镜玻璃的内表面与所述内管的一端接触，且所述视镜玻璃的外壁与所述第一法兰的内壁相连，所述视镜玻璃的外表面与所述第二法兰的内侧相连；

所述清洁刮板与所述视镜玻璃的内表面相接触，所述清洁刮板一侧连接有用于带动所述清洁刮板运动的连接件，所述连接件贯穿所述第一法兰的侧壁和所述内管的侧壁。

作为进一步优选地技术方案，所述连接件为连接杆或转轴。

作为进一步优选地技术方案，所述连接件的内部和所述清洁刮板的内部设置有相互连通的气体通道，所述连接件的外端设有气体通入口，所述清洁刮板与所述视镜玻璃相接触的一端设有气体喷出口。

作为进一步优选地技术方案，所述中心孔的内壁上还开设有环形槽，且所述第一法兰上形成有与所述环形槽相连通的气体吹入口，所述内管上形成有与所述环形槽相连通的多个吹扫孔。

作为进一步优选地技术方案，所述视镜玻璃包括第一视镜玻璃和第二视镜玻璃，所述第一法兰和所述第二法兰之间设有支撑圈，所述第一视镜玻璃和所述第二视镜玻璃主要由所述支撑圈隔开，所述连接件与所述第二视镜玻璃的内表面相连。

作为进一步优选地技术方案，所述外管和所述内管间设置有第一冷却介质容纳腔，所述第一视镜玻璃和所述第二视镜玻璃之间设有第二冷却介质容纳腔，所述支撑圈上形成有与所述第二冷却介质容纳腔相连通的第二冷却介质进口和第二冷却介质出口。

作为进一步优选地技术方案，所述视镜玻璃上设有水平刻线和垂直刻线。

第二方面，本发明提供了一种多晶硅还原炉，包括底盘、炉体、设置于所述底盘上的电极、与所述电极相连的硅棒、进气系统、排气系统和上述观察视镜，所述视镜本体设置于所述炉体上；

所述炉体、所述进气系统和所述排气系统均与所述底盘相连。

作为进一步优选地技术方案，所述进气系统包括相互连接的进气管和喷嘴，所述喷嘴设置于所述底盘上；