[发明专利]干燥装置

权利要求书

1.一种干燥装置，用于掩膜板的干燥，包括干燥腔室，所述干燥腔室端口处设有风刀，其特征在于，

所述干燥腔室侧壁靠近所述干燥腔室的底部的位置设有用于将风刀产生的气流排出的出风口；

所述干燥腔室内设有使得风刀的气流、及气流带下来的灰尘通过，并阻挡所述干燥腔室底部反弹的气流、及反弹气流带动的灰尘通过的单向阻挡结构，所述单向阻挡结构设置于所述出风口与所述风刀之间；

所述单向阻挡结构包括多层叠加设置的过滤网，多层叠加设置的过滤网的网格结构是相互交错设置的，且网格大小不同。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述出风口通过管道与真空吸附结构连接。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述管道与所述出风口连接的一端的形状为漏斗状，所述管道与所述出风口连接的一端的面积大于所述管道远离所述干燥腔室内部的一端。

4.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥腔室相对的两个侧壁上、对应于所述干燥腔室的端口处设有所述风刀，所述管道靠近所述干燥腔室内部的一端、在第一方向上的长度等于所述干燥腔室相对应的侧壁的宽度，所述第一方向为所述管道对应的所述干燥腔室的侧壁的宽度方向。

5.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述管道倾斜设置，且所述管道远离所述出风口的一端高于所述管道与所述出风口连接的一端，所述管道靠近所述干燥腔室底部的内表面为阶梯状。

6.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥腔室包括两个相对的侧壁，每个侧壁对应于所述干燥腔室的端口处设有所述风刀，每个所述侧壁的内表面靠近所述干燥腔室的底部的位置设有所述出风口，每个所述侧壁的内表面均设有第一隔板，所述第一隔板向所述干燥腔室的底部倾斜设置；

所述干燥腔室的底部设有与所述第一隔板配合控制风刀的气流方向以使得风刀的气流从所述出风口排出的第二隔板，所述第二隔板位于两个所述第一隔板之间，所述第二隔板的截面为倒置的V形。

7.根据权利要求6所述的干燥装置，其特征在于，所述第一隔板靠近所述干燥腔室底部的一端具有向对应侧壁弯折的折边。

8.根据权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，所述折边与所述第一隔板的连接处为圆弧。