[发明专利]目检装置

权利要求书

1.一种目检装置，其特征在于，所述目检装置包括：

目检腔室，所述目检腔室上设有透明观测窗口，所述透明观测窗口包括透明基板及覆盖于所述透明基板内表面的增透膜；

夹持装置，位于所述目检腔室内，适于夹持待检测晶圆，并带动所述待检测晶圆以任意角度旋转；

光源，位于所述目检腔室内，且位于所述夹持装置远离所述透明观测窗口的一侧，适于提供照射至所述待检测晶圆表面的观测光；其中，

所述增透膜适于对所述观测光增透。

2.根据权利要求1所述的目检装置，其特征在于：所述观测光为白光，所述增透膜为白光增透膜。

3.根据权利要求1所述的目检装置，其特征在于：所述观测光包括黄光，所述增透膜包括黄光增透膜。

4.根据权利要求3所述的目检装置，其特征在于：所述观测光还包括白光，所述增透膜还包括白光增透膜。

5.根据权利要求4所述的目检装置，其特征在于：所述透明基板的数量为两个，其中，一个所述透明基板的内侧覆盖有黄光增透膜，另一个所述透明基板的内侧覆盖有白光增透膜。

6.根据权利要求5所述的目检装置，其特征在于：覆盖有所述黄光增透膜的透明基板位于覆盖有所述白光增透膜的透明基板的内侧。

7.根据权利要求6所述的目检装置，其特征在于：所述目检装置还包括第一升降装置，所述第一升降装置与覆盖有所述黄光增透膜的透明基板相连接，适于在所述观测光为白光时将覆盖有所述黄光增透膜的透明基板提升至覆盖有所述白光增透膜的透明基板的上方，并在所述观测光为黄光时将覆盖有所述黄光增透膜的透明基板复位。

8.根据权利要求5所述的目检装置，其特征在于：所述目检装置还包括第一升降装置及第二升降装置，所述第一升降装置与覆盖有所述黄光增透膜的透明基板相连接，所述第二升降装置与覆盖有所述白光增透膜的透明基板相连接；其中，

当所述观测光为白光时，覆盖有所述白光增透膜的透明基板作为透明观测窗口，所述第一升降装置将覆盖有所述黄光增透膜的透明基板提升至覆盖有所述白光增透膜的透明基板的上方；

当所述观测光为黄光时，所述第一升降装置将覆盖有所述黄光增透膜的透明基板复位作为透明观测窗口，所述第二升降装置将覆盖有所述白光增透膜的透明基板提升至覆盖有所述黄光增透膜的透明基板的上方。

9.根据权利要求 1所述的目检装置，其特征在于：所述增透膜的材料包括MgF₂、CaF₂、SiO₂、KCl、Al₂O₃或TiO₂中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的目检装置，其特征在于：所述夹持装置包括：

旋转夹紧环，适于夹持所述待检测晶圆；

驱动装置，与所述旋转夹紧环相连接，适于驱动所述旋转夹紧环带动所述待检测晶圆以任意角度旋转。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的目检装置，其特征在于：所述目检装置还包括：

装载台，位于所述目检腔室外侧，适于加载装有所述待检测晶圆的晶圆盒；

机械手臂，位于所述目检腔室内，适于在目检时将所述待检测晶圆从所述晶圆盒内抓取至所述夹持装置上，并在目检结束后将所述待检测晶圆从所述夹持装置上传送回所述晶圆盒内。