[发明专利]石英晶片去污装置和石英晶片去污方法在审
申请号: | 201710327764.5 | 申请日: | 2017-05-11 |
公开(公告)号: | CN106971969A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 申红卫;李健;翟艳飞 | 申请(专利权)人: | 济源石晶光电频率技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;H01L21/02 |
代理公司: | 郑州德勤知识产权代理有限公司41128 | 代理人: | 宋文龙 |
地址: | 454650 河南省焦作市济*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 晶片 去污 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及石英晶片加工技术领域,具体的说,涉及了一种石英晶片去污装置和石英晶片去污方法。
背景技术
石英晶片是电子元器件中最为重要的元件,石英晶片在生产流程中需要经过多道处理工序,而制取的石英晶片在加工过程中有一项参数指标非常重要,即激励功率依赖性,具体是指谐振器在不同激励功率下,晶片石英晶片的频率和电阻所表现的不同变化量,而谐振器产生激励功率依赖性的主要原因是晶片受到污染所致,而现有的石英晶片去污方法普遍存在清洁不充分现象。
为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种实用性强、操作简单、去污效果好的石英晶片去污装置和石英晶片去污方法。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种石英晶片去污方法,其步骤包括:
石英晶片分装:提供一种清洗筐,将具有相同频率的石英晶片置于所述清洗筐中;
酸洗:首先采用水浴槽将酸洗液加热至40℃~100℃,然后将所述清洗筐连同置于其中的所述石英晶片一起浸入所述酸洗液中进行恒温酸洗浸泡处理,得到酸洗石英晶片;
热水淋洗:采用40℃~90℃的热水对所述清洗筐连同置于其中的所述酸洗石英晶片进行淋洗处理,得到淋洗石英晶片;
清洗干燥:将所述淋洗石英晶片从所述清洗筐中取出,然后依次对所述淋洗石英晶片进行超声清洗、脱水干燥处理,得到洁净的石英晶片。
本发明还提供一种石英晶片去污装置,它包括水浴槽、清洗容器和清洗筐,所述水浴槽上固定设置有容器固定孔,所述清洗容器可拆卸设置于所述容器固定孔内,所述清洗筐可拆卸设置于所述清洗容器中,所述清洗筐上开设有多个透液孔。
基于上述,所述清洗筐的高度小于所述清洗容器的高度。
基于上述,所述清洗容器的顶部上还设置有密封盖。
基于上述,所述清洗筐为桶状结构,所述清洗筐包括筐底和环绕所述筐底四周设置的筐壁,所述筐底和筐壁上分别设置有多个所述透液孔。
基于上述,位于所述清洗筐的筐底上的多个所述透液孔呈多个同心圆形式排布。
基于上述,位于所述清洗筐的筐壁上的多个所述透液孔以多个间隔设置的矩阵形式排布。
基于上述,所述清洗筐为聚四氟乙烯清洗筐。
基于上述,所述清洗容器为烧杯。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著的进步,具体的说,本发明所提供的石英晶片去污方法中,首先采用内部设置清洗筐结构的石英晶片去污装置对经过腐蚀加工后的石英晶片进行酸洗,然后对酸洗后的石英晶片依次进行热水淋洗处理、超声清洗和脱水干燥处理,有效避免了石英晶片的二次污染,从而保证了石英晶片的洁净度,该方法能有效消除石英晶片经腐蚀加工后产生的污染现象,避免了因石英晶片污染导致的激励功率依赖性偏高的现象。本发明所提供的石英晶片去污装置,该装置方便了从酸洗液中取出石英晶片和后续对石英晶片进行热水淋洗和超声波清洗,实现了一个装置可对石英晶片进行多个工艺处理,减少了拿取石英晶片过程对石英晶片的污染,且该装置还具有结构简单,使用方便快捷等优点。
附图说明
图1是本发明提供的石英晶片去污装置处于聚四氟乙烯清洗筐未完全放入烧杯内部的装配状态结构示意图。
图2是本发明提供的石英晶片去污装置的水浴槽的结构示意图。
图3是本发明提供的石英晶片去污装置中聚四氟乙烯清洗筐的结构示意图。
图4是本发明提供的石英晶片去污装置中的烧杯结构示意图。
图5是本发明提供的石英晶片去污方法流程图。
图中:1、水浴槽; 12、烧杯固定孔;2、烧杯;21、密封盖; 3、聚四氟乙烯清洗筐;31、透液孔;32、筐壁;33、筐底。
具体实施方式
下面通过具体实施方式,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
实施例1
本实施例首先提供一种石英晶片去污装置,如图1和图2所示,它包括水浴槽1、十五个烧杯2和十五个聚四氟乙烯清洗筐3。所述水浴槽1上部设置十五个烧杯固定孔12,各所述烧杯2可拆卸设置在所述烧杯固定孔12内,各所述聚四氟乙烯清洗筐3可拆洗设置在所述烧杯2中,所述聚四氟乙烯清洗筐3上开设有透液孔31。其中,所述烧杯2中加入酸洗液。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造