[发明专利]高频封装有效
申请号: | 201710329692.8 | 申请日: | 2012-01-12 |
公开(公告)号: | CN107134442B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 海野友幸;稻见和喜;八十冈兴祐 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/66;H01P5/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高频 封装 | ||
本发明提供一种高频封装。在多层基板中,作为将所搭载的高频器件产生的高频信号从最上层向最下层传输而向基板外部输出并将从基板外部向所述最下层输入的高频信号传输到所述高频器件的结构,形成有模拟同轴线路,该模拟同轴线路将对在所述最上层的上表面形成的金属图案与在所述最下层的下表面形成的金属图案之间进行连接的上下贯通通路作为中心导体、并且将在其周围对2个以上的层间进行连接且呈环状配置的多个层间通路作为外导体,其中,使所述上下贯通通路的全部或一部分为不使用通路的使导体焊盘对置的电容器结构。
本发明申请是国际申请号为PCT/JP2012/050501,国际申请日为2012年01月12日,进入中国国家阶段的申请号为201280024505.0,名称为“高频封装”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及在微波波段或毫米波波段工作的电子装置中所使用的高频封装。
背景技术
在微波波段或毫米波波段工作的电子装置中所使用的高频封装是对搭载有在微波波段或毫米波波段工作的高频器件(MMIC:单片微波集成电路)的多层基板进行封装化而成的,在该多层基板的最下层进行与外部的电连接。
因此,在构成该高频封装的多层基板上,作为将所搭载的高频器件产生的高频信号向基板外部输出并将来自基板外部的高频信号输入到高频器件的结构,在多层基板内形成有将最上层与最下层之间连通的模拟同轴线路。
该模拟同轴线路是如下结构:例如像专利文献1所公开的那样,将对与高频器件的输入输出端口连接且形成在最上层的上表面的金属图案与形成在最下层的下表面的金属图案之间进行连接的上下贯通通路(via)作为中心导体,将在其周围对2个以上的层间进行连接并呈环状配置的多个层间通路作为外导体。在最下层的下表面形成的金属图案经由BGA(球栅阵列(ball grid array))与其它的多层基板连接。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平6-85099号公报。
发明内容
发明要解决的课题
可是,在制造多层基板时,有时会由于热应力等而在某个层的基板产生裂缝。这样,在安装了高频器件的运用时,在该裂缝延伸到形成中心导体的上下贯通通路的形成部分的情况下,使上下贯通通路断线,因此,存在发生高频信号的通过特性较大地劣化的情况的问题。
本发明是鉴于上述问题而提出的,其目的在于得到一种利用即使裂缝以横穿模拟同轴线路的中心导体形成区域的方式产生,也能抑制高频信号的通过特性的劣化的结构的多层基板的高频封装。
用于解决课题的方案
为了解决上述的课题并达成目的,本发明提供一种利用了多层基板的高频封装,在该多层基板中,作为将所搭载的高频器件产生的高频信号从最上层向最下层传输而向基板外部输出并将从基板外部向所述最下层输入的高频信号传输到所述高频器件的结构,形成有模拟同轴线路,该模拟同轴线路将对在所述最上层的上表面形成的金属图案与在所述最下层的下表面形成的金属图案之间进行连接的上下贯通通路作为中心导体、并且将在其周围对2个以上的层间进行连接且呈环状配置的多个层间通路作为外导体,所述高频封装的特征在于,使所述上下贯通通路的全部或一部分为不使用通路的使导体焊盘对置的电容器结构。
发明效果
根据本发明,即使在内层的基板产生的裂缝延伸到形成模拟同轴线路的中心导体的区域,作为高频信号的传送路径的模拟同轴线路的结构也被电容器结构维持而继续存在,因此,起到能抑制高频信号的通过特性的劣化的效果。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式的高频封装的主要部分结构的截面图。
具体实施方式
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