[发明专利]微观缺陷检测装置及检测方法、显微镜

权利要求书

1.一种微观缺陷检测装置，其特征在于，包括：检测组件、标记组件、转换组件；其中，所述检测组件和所述标记组件均设置在所述转换组件上；所述转换组件与显微镜连接；

所述检测组件，具有第一视区，用于检测显示面板上存在微观缺陷的位置；

所述转换组件，用于在所述检测组件检测出存在微观缺陷的位置，将所述标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区；

所述标记组件，具有第二视区，用于在所述存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在所述微观缺陷的位置，并对该位置进行标记；所述第二视区的面积小于所述第一视区的面积。

2.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述第一视区的中心与所述第二视区的中心在所述转换组件旋转180°后重合。

3.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，还包括驱动组件，所述转换组件通过所述驱动组件与所述显微镜连接；所述驱动组件用于驱动所述转换组件沿所述显微镜的轴线方向上下运动。

4.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述驱动组件包括准焦螺旋和螺纹杆；其中，

所述准焦螺旋固定在所述显微镜上，并与所述螺纹杆的一端连接；所述螺纹杆的另一端与所述转换组件连接。

5.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述转换组件包括：定位部件、旋转轴、承载部件；其中，

所述定位部件为中空结构，与所述驱动组件连接；

所述旋转轴设置在所述定位部件的中空结构中，且与所述承载部件连接；

所述承载部件包括相互连接的第一承载部和第二承载部；所述第一承载部用于承载所述检测组件，所述第二承载部用于承载标记组件。

6.根据权利要求5所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述旋转轴在与其轴线垂直的方向上设置有第一凹槽，在所述第一凹槽中沿其开口所在方向上依次设置有弹簧和定位球，所述弹簧的一端固定在所述第一凹槽底部，一端与所述定位球连接；

所述定位部件的中空结构的内壁上设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述定位球适配。

7.根据权利要求5所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述第一承载部与所述检测组件螺纹连接；所述第二承载部与所述标记组件螺纹连接。

8.根据权利要求5所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述标记组件设置于第二承载部之后与所述检测组件设置于第一承载部之后相比，所述标记组件到被检测的所述显示面板之间的距离比所述检测组件到被检测的所述显示面板之间的距离小2mm。

9.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述检测组件包括具有第一倍率的物镜；所述标记组件包括具有第二倍率的物镜；所述第二倍率大于第一倍率。

10.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，在所述标记组件包括观测部和环绕在观测部靠近被检测所述显示面板一侧的凸起；其中，

所述观测部，用于观测所述显示面板上存在微观缺陷的位置；

所述凸起，用于在进行染色后标记存在微观缺陷的位置所在的区域。

11.根据权利要求10所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述观测部上的标记图案包括：平行线、圆形、矩形、三角形中的任意一种。

12.一种微观缺陷的检测方法，其特征在于，所述检测方法采用权利要求1-11中任一项所述的微观缺陷检测装置，所述检测方法包括：

通过检测组件检测显示面板上存在微观缺陷的位置，并确定出存在微观缺陷的位置的第一视区；

在所述检测组件检测出存在微观缺陷的位置，通过转换组件将所述标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区；

通过标记组件在所述存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在所述微观缺陷的位置，并通过标记组件对该位置进行标记。