[发明专利]微观缺陷检测装置及检测方法、显微镜

说明书

本发明提供一种微观缺陷检测装置及检测方法、显微镜，属于显示技术领域，其可解决现有的微观缺陷件标记不精准的问题。本发明的微观缺陷检测装置，包括：检测组件、标记组件、转换组件；其中，所述检测组件和所述标记组件均设置在所述转换组件上；所述转换组件与显微镜连接；所述检测组件，具有第一视区，用于检测显示面板上存在微观缺陷的位置；所述转换组件，用于在所述检测组件检测出存在微观缺陷的位置，将所述标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区；所述标记组件，具有第二视区，用于在所述存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在所述微观缺陷的位置，并对该位置进行标记；所述第二视区的面积小于所述第一视区的面积。

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种微观缺陷检测装置及检测方法、显微镜。

背景技术

在薄膜晶体管(英文：Thin Film Transistor；简称：TFT)领域中，显微镜是使用非常普遍的设备。在分析被测对象(如显示面板)的不良时，可以使用显微镜观察被测对象的微观形貌，检测被测对象上存在微观缺陷(如显示面板的不良点)的区域，然后标记该区域中的微观缺陷，进行微观分析等。

现有技术中有一种微观缺陷检测装置，在使用该装置检测被测对象上存在微观缺陷的区域后，采用人工标记的方式标记该区域中的微观缺陷，具体的，工作人员用记号(Mark)笔在被测对象的表面画圈，使该微观缺陷位于工作人员所画的圈内。由于显微镜的存在，工作人员每次都是斜视微观缺陷，完成微观缺陷的标记过程。此时即使手法娴熟、Mark笔足够细也无法得到精准的存在微观缺陷的区域。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种精准标记显示面板上的微观缺陷的微观缺陷检测装置及检测方法、显微镜。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种微观缺陷检测装置，包括：检测组件、标记组件、转换组件；其中，所述检测组件和所述标记组件均设置在所述转换组件上；所述转换组件与显微镜连接；

所述检测组件，具有第一视区，用于检测显示面板上存在微观缺陷的位置；

所述转换组件，用于在所述检测组件检测出存在微观缺陷的位置，将所述标记组件旋转至存在微观缺陷的第一视区；

所述标记组件，具有第二视区，用于在所述存在微观缺陷的位置的第一视区中确定出存在所述微观缺陷的位置，并对该位置进行标记；所述第二视区的面积小于所述第一视区的面积。

优选的是，所述第一视区的中心与所述第二视区的中心在所述转换组件旋转180°后重合。

优选的是，所述微观缺陷检测装置还包括驱动组件，所述转换组件通过所述驱动组件与所述显微镜连接；所述驱动组件用于驱动所述转换组件沿所述显微镜的轴线方向上下运动。

进一步优选的是，所述驱动组件包括准焦螺旋和螺纹杆；其中，

所述准焦螺旋固定在所述显微镜上，并与所述螺纹杆的一端连接；所述螺纹杆的另一端与所述转换组件连接。

进一步优选的是，所述转换组件包括：定位部件、旋转轴、承载部件；其中，

所述定位部件为中空结构，与所述驱动组件连接；

所述旋转轴设置在所述定位部件的中空结构中，且与所述承载部件连接；

所述承载部件包括相互连接的第一承载部和第二承载部；所述第一承载部用于承载所述检测组件，所述第二承载部用于承载标记组件。

进一步优选的是，所述旋转轴在与其轴线垂直的方向上设置有第一凹槽，在所述第一凹槽中沿其开口所在方向上依次设置有弹簧和定位球，所述弹簧的一端固定在所述第一凹槽底部，一端与所述定位球连接；

所述定位部件的中空结构的内壁上设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述定位球适配。